KLA Tencor是世界上zui*的微電子和半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)備供應(yīng)商。 Alpha-Step IQ是其第八代臺階儀。主要應(yīng)用于薄膜厚度測量、樣品表面形貌測量、薄膜應(yīng)力測量、樣品表面粗糙度/波紋度測量、以及樣品表面三維形貌測量等眾多領(lǐng)域。

Alpha-Step IQ是*的探針臺階儀，集高測量精度、多功能性和經(jīng)濟性于一體。是生產(chǎn)線及材料分析等應(yīng)用的理想選擇。由于其具有7.5Å (1σ)或0.1%臺階高度重復(fù)性以及亞埃級的分辨率。是目前商業(yè)化儀器里（經(jīng)過市場考驗）zui高精度的臺階儀。是成熟的產(chǎn)品。

Alpha-Step IQ采用天然金剛石（Diamond）作為探頭，經(jīng)久耐用。探針更換簡便、快速。

主要應(yīng)用于薄膜厚度測量、樣品表面形貌測量、薄膜應(yīng)力測量、樣品表面粗糙度/波紋度測量、以及樣品表面三維形貌測量等眾多領(lǐng)域。軟件具有保護(hù)測針以免發(fā)生損壞功能：
★無論何時只要測針下伸的時間超過 60 秒，但仍然沒有開始掃描，測針將自動升起。
★當(dāng)測針達(dá)到其測量范圍的上*，測針自動縮回，掃描終止。（備注：當(dāng)測針達(dá)到其上*，屏幕上的跡線停止上升，而變?yōu)樗?。?
★為了安全起見，可以用程序設(shè)置升降器，使其僅可以降低到一個預(yù)設(shè)的限制。

Alpha-Step IQ探針掃描是雙方向的，即可以從左向右，又可以從右向左。

Alpha-Step IQ為可為用戶提供中文操作界面，可以提供*（official）中文操作手冊。

Alpha-Step IQ的軟件友好，功能強大。

可精確測量納米級至幾百微米級臺階高度；
可分析表面粗糙度
具有7.5Å (1σ)或0.1%臺階高度重復(fù)性以及亞埃級的分辨率