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FT9500 X射線熒光鍍層厚度測量儀

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X射線熒光鍍層厚度測量儀 FT9500系列

1. 薄膜?多層膜測量
2. 異物分析
3. 數(shù)據(jù)編輯功能
4. 高強度照射

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X射線熒光鍍層厚度測量儀 FT9500系列

1. 薄膜?多層膜測量

X射線熒光鍍層厚度測量儀 FT9500系列通過采用新型的毛細管(X射線聚光系統(tǒng))和X射線源,把與以往機型FT9500同等強度的X射線聚集在30 µmΦ的極微小范圍。因此,不會改變測量精度即可測量幾十微米等級的微小范圍。
同時,也可對幾十納米等級的Au/Pd/Ni/Cu多鍍層的各層膜厚進行高精度測量。

2. 異物分析

X射線熒光鍍層厚度測量 FT9500系列通過高能量微小光束和高計數(shù)率檢測器的組合,可進行微小異物的定性分析。利用CCD攝像頭選定樣品的異物部分并照射X射線,通過與正常部分的能譜差進行異物的定性分析(Al~U)。

3. 數(shù)據(jù)編輯功能

X射線熒光鍍層厚度測量 FT9500系列配備了Microsoft® Excel和Microsoft® Word。在Microsoft® Excel上面配備了統(tǒng)計處理軟件,可以進行測量數(shù)據(jù)、平均值、zui大/zui小值、C.V.值、Cpk等的統(tǒng)計處理。 另外,通過Microsoft® Word可以簡單的制作包含了樣品畫圖的測量報告書。

4. 高強度照射

X射線熒光鍍層厚度測量 FT9500系列X射線熒光鍍層厚度測量 FT9500系列通過高強度照射在微小部分也可以鮮明的觀察、聚焦位置。

5. 樣品工作臺

X射線熒光鍍層厚度測量 FT9500系列配備等同與FT9550X的大型樣品臺,能夠?qū)Υ笮途€路板等樣品進行整體排列測量對應(yīng)。

型號FT9500FT9550FT9500L
測量元素Al(13)~Bi(83)
X射線源管電壓:50(可變更)kV
管電流: 10~1000 µA
檢測器半導(dǎo)體檢測器(無需液氮)
X射線聚光聚光導(dǎo)管方式
樣品觀察CCD攝像頭(帶變焦功能)
對焦激光對焦
濾波器一次濾波器:3個位置(自動切換)
樣品區(qū)域X:240mm, Y:175mm
X:220mm, Y:150mm, Z:150mm
X:420mm, Y:330mm
X:400mm, Y:300mm, Z:50mm
X:840mm, Y:540mm
X:400mm, Y:300mm, Z:50mm
測量軟件薄膜FP法(zui大5層、10種元素)、檢量線法、塊體FP法(材料組成分析)
安全功能樣品門聯(lián)鎖

選購項

  • 電鍍液分析(塊體標(biāo)準(zhǔn)曲線)
  • 能譜匹配軟件(材料辨別)
  • 掃描(強度面分析多點表示)軟件

惠州市華高儀器設(shè)備有限公司

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聯(lián)系人:范志華

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