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日本新宇宙XP-703D半導(dǎo)體材料氣體*

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日本新宇宙XP-703D半導(dǎo)體材料氣體*,zui適用于半導(dǎo)體材料氣體的超微量泄漏檢測。通過報警燈及蜂鳴器即可得知?dú)怏w泄漏。

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日本新宇宙XP-703D半導(dǎo)體材料氣體* 產(chǎn)品特點(diǎn)

zui適用于半導(dǎo)體材料氣體的超微量泄漏檢測。
通過報警燈及蜂鳴器即可得知?dú)怏w泄漏。
日本新宇宙XP-703D半導(dǎo)體材料氣體* 參數(shù)規(guī)格

型號XP-703D
檢測原理型半導(dǎo)體式
檢測對象氣體半導(dǎo)體材料氣體(砷化三氫、*、乙硼烷、硅烷等)
能檢測的泄漏量
能檢測的濃度
砷化三氫 
AsH3 
1.0×10-7 
0.2
*
PH3 
1.5×10-7 
0.3
乙硼烷 
B2H6 
0.5×10-7 
0.1
硅烷 
SiH4 
2.5×10-7 
0.5
氫氣 
H2 
5×10-7 Pa·m3 /s 
1.0 ppm
應(yīng)答時間10秒
檢測表示蜂鳴器發(fā)出斷續(xù)音且報警燈閃爍
電源5號錳干電池4節(jié)
電池使用時間※1使用堿性干電池使用約9小時(使用錳干電池約3小時)
使用溫度范圍0℃~40℃
外形尺寸W68×H155×D32mm
重量約400g(包括電池)

日本新宇宙XP-703D半導(dǎo)體材料氣體* 配件 
附件     皮套、吸引過濾器、過濾片、檢查氣體、標(biāo)準(zhǔn)輔助橡膠管、5號錳干電池4本
另售的選購品     Ni-Cd電池充電器、耳機(jī)
※1 也可使用堿性干電池、Ni-Cd電池。


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