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ALICAT 抗腐蝕型質(zhì)量流量控制器

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Alicat的21S系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測量并控制腐蝕性氣體(如NH3、H2S、SiH4等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力,并顯示氣體溫度,適用于多種流量測控場合。

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::產(chǎn)品描述::

 

美國ALICAT 21S系列抗腐蝕型質(zhì)量流量控制器,采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。Alicat的21S系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測量并控制腐蝕性氣體(如NH3、H2S、SiH4等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力,并顯示氣體溫度,適用于多種流量測控場合。

產(chǎn)品特點(diǎn) 

● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力
● 可選高精度:優(yōu)于0.5%
● 高量程比 100:1
● 響應(yīng)時(shí)間快 僅需100ms(可調(diào))
● 內(nèi)置130種常規(guī)以及腐蝕性氣體(如介質(zhì)是CL2 或 二氧化硫SO2,訂貨時(shí),需特殊說明)
● 可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體,并存儲(chǔ)20種混合氣
● 可適用于諸多腐蝕性氣體

技術(shù)參數(shù) 

介質(zhì)要求:潔凈、干燥的氣體,腐蝕和非腐蝕性均可

介質(zhì)種類:內(nèi)置了130種氣體,請咨詢

一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場選擇

量程:從0-0.5SCCM 到 0-5000SLPM(詳情請咨詢)

量程比:100:1

大顯示流量:102.4%FS

顯示屏:同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精度:± (0.8%RD+0.2%FS),RD-讀數(shù) FS-滿量程

高精度:±(0.4%Rd + 0.2%FS),選配

僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備

重復(fù)性:± 0.2% FS

零點(diǎn)漂移&滿量程漂移:0.02% F.S / ºC / Atm

預(yù)熱時(shí)間:<1s

響應(yīng)時(shí)間:100ms

標(biāo)定工況:25ºC & 100kPa 絕壓、20ºC & 100kPa 絕壓、0ºC & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)

工作溫度:-10 ~ +50 ºC

工作濕度:0-*,無冷凝

標(biāo)準(zhǔn)大工作壓力:1MPa 表壓

標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓:1.2MPa 表壓

中壓選項(xiàng):2MPa

數(shù)字輸入/輸出信號(hào):RS232、RS485、Modbus、Profibus*

模擬輸入/輸出信號(hào):0-5Vdc、1-5Vdc、 0-10Vdc、4-20mA

供電電壓:7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出,須為15-30 Vdc)

供電電流:250mA ~ 750mA

電氣接口:8針Mini-DIN、DB9、DB15、6針工業(yè)接頭

材質(zhì):316L不銹鋼、303不銹鋼, 430FRSS, FFKM (Kalrez)

可根據(jù)特殊氣體選用Viton, EPDM, Buna, Neoprene

防護(hù)等級:IP40

如選Profibus,則無模擬信號(hào),無顯示,其供電電壓及

供電電流需咨詢我們

應(yīng)用及案例 

● 大學(xué)/研究所
● 環(huán)境監(jiān)測
● 真空行業(yè)及鍍膜
● 工業(yè)爐窯
● 汽車制造
● 計(jì)量
● 過程工藝氣體測量

 


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