GLE-1數(shù)字化細觀面內(nèi)位移測量儀
將電子散斑干涉技術(shù)與長距離顯微鏡結(jié)合。利用電子散斑靈敏度高、全場測量的優(yōu)點，及長距離顯微鏡放大率高的特點，對細觀物體進行測量，精度可達納米級。該儀器有如下特點：小巧；可以用于現(xiàn)場；具有時空相移功能，從而可以實現(xiàn)條紋數(shù)字化；還可以研究動態(tài)和振動問題。