型號(hào)

LS-WPS100

LS-WPS150S

LS-WPS150

外形

400mm長*

400mm寬*

550mm高

400mm長*

400mm寬*

550mm高

680mm長*

530mm寬*

mm高

重量

約30公斤

約35公斤

約45公斤

電力需求

220VC, 50~60Hz

樣品臺(tái)

尺寸

4英寸，可360°旋轉(zhuǎn)

6英寸，可360°旋轉(zhuǎn)

6英寸，可360°旋轉(zhuǎn)

X-Y行程

4*4英寸

4*4英寸

6*6英寸

移動(dòng)精度

10um

樣品固定方式

真空吸附

背電極測(cè)試功能

有，樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空

針座平臺(tái)

U型平臺(tái)，多可放置6個(gè)小型針座

U型平臺(tái)，多可放置8個(gè)小型針座

光學(xué)特性

顯微鏡行程

可360度旋轉(zhuǎn)，Z軸：50.8mm

放大倍數(shù)

16~100X （200X可選）

CCD像素

50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字）

點(diǎn)針規(guī)格

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm

機(jī)械精度

10微米/2微米/0.7微米

漏電精度

10pA/100fA（配置屏蔽箱時(shí)）

接口形式

香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口

應(yīng)用方向

VCSEL芯片及LD/LED/PD測(cè)試，PCB/封裝器件測(cè)試，射頻測(cè)試等。