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VTC-200-4P噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī),勻膠機(jī)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介:VTC-200-4P紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂機(jī)、勻膠機(jī)、顯影機(jī)、甩膠機(jī)、旋涂?jī)x、spin coater主要用于半導(dǎo)體工藝、制版工藝過(guò)程中圖形的顯影表面涂覆工藝,是一款上蓋可以加熱的勻膠機(jī)、顯影機(jī),在勻膠或顯影過(guò)程結(jié)束后使用加熱功能使膠體薄膜中的溶劑繼續(xù)蒸發(fā)到含量低。工作過(guò)程中顯影液或膠體以霧狀噴到樣片上,使溶液在樣片表面均勻分布,有利于薄膜和顯影過(guò)程的順利進(jìn)行。本機(jī)電機(jī)部分、溫度控制部分、注液部分分別使用獨(dú)立電源進(jìn)行控制,電機(jī)調(diào)速系統(tǒng)則采用了抗干擾性高的PLC進(jìn)行控制,轉(zhuǎn)數(shù)100-2000RPM范圍內(nèi)可調(diào)。涂膜機(jī)在工作時(shí)設(shè)有兩個(gè)階段,在啟動(dòng)前根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)置。VTC-200-4P紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī)、勻膠機(jī)、甩膠機(jī)、旋涂?jī)x、顯影機(jī)、spin coater啟動(dòng)快速、轉(zhuǎn)數(shù)穩(wěn)定,可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。對(duì)于樣件的固定,采用橡膠吸盤(pán)和磁力鋼片模板,不僅樣件取放自如,而且操作簡(jiǎn)便。此外,在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減震措施,降低運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的噪音。

 

 

 

產(chǎn)品型號(hào)

VTC-200-4P紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī)、勻膠機(jī)、顯影機(jī)、甩膠機(jī)、旋涂?jī)x、spin coater

 

 

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設(shè)備配有進(jìn)出水口

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地。

3、氣:不需要

4、工作臺(tái):尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kgs以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1、采用橡膠吸盤(pán)和磁力鋼片模板固定樣件,不僅樣件取放自如,而且操作簡(jiǎn)便;橡膠吸盤(pán)和磁力鋼片模板大小可根據(jù)需要進(jìn)行定制。

2、該機(jī)上蓋具有紅外加熱功能,可以使溫度保持在一個(gè)穩(wěn)定值。

3、本機(jī)上蓋具有4組噴嘴,可使膠體以霧狀噴在樣片表面,使薄膜更均勻。

4、電機(jī)部分、溫度控制部分、注液部分分別使用獨(dú)立電源的方式,電機(jī)調(diào)速系統(tǒng)則采用了抗干擾性高的PLC進(jìn)行控制,數(shù)值顯示更直觀可靠,轉(zhuǎn)數(shù)在100-2000RPM內(nèi)可調(diào)。

5、涂膜機(jī)在工作時(shí)設(shè)有兩個(gè)階段,在啟動(dòng)前根據(jù)實(shí)際需要,可分別進(jìn)行時(shí)間1、轉(zhuǎn)速1、時(shí)間2、轉(zhuǎn)速2的設(shè)置。設(shè)置完成啟動(dòng)后,涂膜機(jī)先以轉(zhuǎn)速1在時(shí)間1時(shí)間內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn),使涂膜物質(zhì)逐漸分散開(kāi)。當(dāng)時(shí)間1時(shí)間結(jié)束時(shí),涂膜機(jī)自動(dòng)進(jìn)入時(shí)間2時(shí)間階段運(yùn)轉(zhuǎn),使涂膜物質(zhì)更加均勻。

6、噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī)啟動(dòng)快速、轉(zhuǎn)數(shù)穩(wěn)定,可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。

7、在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減震措施,降低運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的噪音。

8、腔體采用聚丙烯材質(zhì),使用壽命更長(zhǎng),提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開(kāi)裂性能;機(jī)身采用鑄鋁結(jié)構(gòu),結(jié)實(shí)耐用且質(zhì)輕。

技術(shù)參數(shù)

1、電源:AC220/110V、50/60Hz

2、電機(jī)功率:功率210W

3、雙轉(zhuǎn)速涂膜功能:雙轉(zhuǎn)速及涂膜時(shí)間分別設(shè)置,在啟動(dòng)后先低速運(yùn)轉(zhuǎn)(滴涂膠液),然后自動(dòng)轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn)(勻膠)。轉(zhuǎn)速穩(wěn)定(±1%),涂膜物質(zhì)均勻。

轉(zhuǎn)數(shù)1:100-2000 RPM有效

時(shí)間1:1--200s有效

轉(zhuǎn)數(shù)2:100-2000 RPM有效

時(shí)間2:1--200s有效

4、適用于Φ153mm樣件涂膜。

5、上蓋加熱溫度范圍:0-100℃。

6、環(huán)境溫度5-40℃,相對(duì)濕度不大于85%RH,設(shè)備周?chē)鸁o(wú)強(qiáng)烈震源和腐蝕氣體影響。

規(guī)格尺寸

主機(jī)外形尺寸500mm(長(zhǎng))×410mm(寬)×330mm(高),重量24Kg。

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

磁性鋼片模板(Ф160mm)

1件

2

吸盤(pán)(Ф153mm)

1件

3

溫控箱

1臺(tái)

4

蠕動(dòng)泵

6臺(tái)

可選配件

橡膠吸盤(pán)

橡膠吸盤(pán)

磁力鋼片模板(可定制)

磁力鋼片模板

 

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