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MPG40x 大氣壓至超高真空真空計

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好處

  • Direct replacement for PTR 90 Vacuum Transmitters
  • 復(fù)合真空計 – 倒置磁控管與皮拉尼
  • 測量范圍廣，從 5 x 10-9 毫巴到大氣壓
  • 不會出現(xiàn)單絲燒毀的現(xiàn)象
  • 的點火屬性
  • 易于清潔
  • FPM 或金屬密封饋入裝置
  • 高壓 LED 指示燈
  • 對數(shù)模擬輸出信號

典型應(yīng)用

  • 高真空壓力監(jiān)控
  • 蒸發(fā)系統(tǒng)和濺射系統(tǒng)的基本壓力
  • 中高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

新聞

MAG400 series is direct replacement for PTR 90 Vacuum Transmitters

規(guī)格

類型 MPG400 FPM sealed
精度 (N2)  
1 x 10-8 … 100 毫巴 % of reading ≈±30%
可重復(fù)性  
1 x 10-8 … 100 毫巴 % of reading ≈±5%
安裝定位 any
容許壓力 bar (absolute) ≤10 (limited to inert gases)
容許溫度  
運行（環(huán)境） °C +5 … +55
貯存 °C –40 … +65
烘烤 (1) °C 150
單絲溫度（皮拉尼） °C 120
電源電壓  
真空計上 V (dc) +15 … +30
纜線長的電源裝置 (2) V (dc) +16 … +30
波紋 V (p-p) ≤1
功耗 W ≤2
可連接的保險絲 AT ≤1
輸出信號（測量信號）  
電壓范圍 V 0 … +10.5
測量范圍 V +1.82 … +8.6
電壓與壓強 logarithmic, 0.6 volts per decade
錯誤信號  
無電源 V <>
皮拉尼傳感器，單絲斷裂 V >9.5
輸出電阻 ? 2 x 10
小負(fù)載電阻 k? 10, short-circuit proof
反應(yīng)時間  
p > 10-6 毫巴 ms <>
p = 10-8 毫巴 ms ≈1000
識別真空計 85, referenced to supply common
狀態(tài)  
僅皮拉尼模式 V 0 (low)
復(fù)合皮拉尼 / 冷陰極模式 V 15 … 30 (high)
LED LED green high voltage on
電氣連接 FCC 68 appliance connector, 8 poles, female
傳感器電纜 8 poles plus shielding
電纜長度 m ≤50 (8 x 0.14 mm2)
運行電壓 kV ≤3.3
運行電流 µA ≤500
暴露于真空的材料 stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W
內(nèi)部容積 cm³ ≈20
重量  
DN 25 ISO-KF g ≈700
DN 40 ISO-KF g ≈720
DN 40 CF-F g ≈980
保護類別 IP 40
標(biāo)準(zhǔn)  
CE 合規(guī) EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

1) 沒有電子和磁遮蔽。

2) 必須根據(jù)傳感器電纜的長度按比例增加電源的低電壓。

零件號

MPG400 FPM sealed
零件號 明細(xì)
351-010 MPG400 真空計
351-011 MPG400 DN 40 ISO-KF
351-012 MPG400 DN 40 CF-F
351-998 維修包
351-995 起輝器
351-994 MPG40X 點火單元
351-999 維修保養(yǎng)套件
211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF

附件

MPG400 FPM sealed
零件號 明細(xì)
351-023 磁屏蔽

數(shù)據(jù)表

手冊

目錄

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