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Aquila NKD8000 高級薄膜測定系統(tǒng)

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Aquila NKD8000


英國Aquila


應(yīng)用
高級薄膜測定系統(tǒng)
NKD-8000系統(tǒng)綜合了光學(xué)、電子學(xué)和高級分析軟件,是目前測定多層薄膜和基片的折射率、吸收系數(shù)和厚度確、易用的系統(tǒng)。NKD-8000系列產(chǎn)品具有全自動、可同時(shí)測定透過光譜和反射光譜,入射光角度從0°到90°連續(xù)改變。對分光光譜儀而言,這是一項(xiàng)的新功能,使得NKD-8000適用于挑戰(zhàn)性的光學(xué)測量。對多層薄膜和基片的n、k和d的測定變得準(zhǔn)確、快捷。
技術(shù)指標(biāo)
技術(shù)參數(shù)光 譜 范 圍 NKD-8000 350nm—1000nm ( 標(biāo)準(zhǔn)模式 )
NKD-8000v 280nm—1000nm ( 紫外增強(qiáng)型)
NKD-8000r 800nm—1700nm ( 紅 外 型 )
NKD-8000w 350nm—1700nm (寬光譜型 )
NKD-8000e 350nm—2500nm (超寬光譜 型 )
注:寬光譜型提供兩個(gè)檢測器,可以覆蓋350nm到1000nm和800nm到1700nm或2500nm (僅適用nkd-8000e),但二者不能同時(shí)用。獲得數(shù)據(jù)時(shí)間 2—10分鐘,這取決于光譜范圍和不同選件
數(shù)據(jù)分析時(shí)間 5秒—5分鐘,取決于數(shù)據(jù)的復(fù)雜程度
光 譜 分辨率 1nm或2nm (可選)
光 源 NKD-8000v 150W 氙弧燈
其 他 高穩(wěn)態(tài)100W石英鎢鹵燈
樣 品 尺 寸 10×10mm到200×250mm標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)
100mm 直徑樣品的掃描臺
層 數(shù) 至多5層,兩個(gè)未知參數(shù)
薄膜厚度范圍 5nm到20um,取決于角度、偏振和波長
1nm 需要增加橢偏模塊
基 片 透明、半透明或半吸收或半導(dǎo)體
材 料 電介質(zhì)、高聚物、半導(dǎo)體和金屬
精 確 度 對于 半吸收薄膜 典型 大
薄膜厚度 <1% <3%
折射率 <0.1% <1%
消光系數(shù) <1% <3%
對于 金屬薄膜
薄膜厚度 <1% <3%
折射率 <1% <3%
消光系數(shù) <1% <3%
重 現(xiàn) 性 透射率 <0.01% <0.1%
反射率 <0.01% <1%
折射系數(shù) <0.01% <0.1%
入射光角度 30°、50°或70°(標(biāo)準(zhǔn)單元)或由客戶的從
20°到70°連續(xù)可變(可變角版本)或3個(gè)位置角度
樣品上的光斑尺寸 5mm(標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)),250um(選件)
電 源 220V,50Hz,2A 或110V,60Hz,3A
外觀尺寸 890×540×720mm
重 量 105Kg
選 件 多角度,可變角度,X-Y樣品掃描臺,多種標(biāo)準(zhǔn)尺寸樣品架。樣品觀測顯微鏡。手動或全軟件控制的偏振選件(s-、p-或非偏振)。樣品加熱臺。臺式機(jī)或工業(yè)PC。
特點(diǎn)
主要特點(diǎn)
◆ 可測定波長范圍從280nm到2300nm的透射和反射光譜
◆ 在同一區(qū)域可同時(shí)測定T和R值
◆ 可對折射率(n),吸收系數(shù)(k) 和厚度(d)進(jìn)行準(zhǔn)確測定
◆ 樣品可在X-Y掃描臺上進(jìn)行掃描
◆ 入射光角度可以是固定角度、多角度和從0°到90°的連續(xù)變化的角度
◆ 可用s-、p-或非偏振光作為入射光對T和R進(jìn)行測定
◆ 可對透明基片進(jìn)行測定且不需要對樣品進(jìn)行前處理
◆ 內(nèi)建的材料數(shù)據(jù)庫
◆ 密封的樣品室
◆ 可選擇散射模式
◆ 具有在線或離線分析功能
對T和R同時(shí)測定
KD-8000系統(tǒng)在同一個(gè)光斑處,同時(shí)對透過光譜和發(fā)射光譜進(jìn)行測定,保證了兩套數(shù)據(jù)具有直接的相關(guān)性。通過測定這些光譜,全自動的控制和分析軟件系統(tǒng)可以從中得到n、k和d值。而且所有這些都源自同一次測定。不同散射模式的選擇使得對寬廣范圍材料的分析成為可能,而且用戶可以選擇缺省模式或者高級分析模式。
功能強(qiáng)大的Pro-OptixTM控制和分析軟件系統(tǒng)包括一個(gè)可編輯的數(shù)據(jù)庫,它允許對材料進(jìn)行預(yù)先定義,以提高分析速度。該軟件的其他特點(diǎn)包括顏色的匹配和太陽光的計(jì)算以及金屬薄膜的算法。樣品可以是透明的、不透明的或者半吸收的而無需對它們特殊處理。
NKD-8000是一款能全部提供上述功能的分光型光學(xué)薄膜分析系統(tǒng),它為薄膜表征設(shè)立了一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)。
可變的入射光角度
①反射光檢測 ②光束管 ③Y軸坐標(biāo) ④透射光檢測器 ⑤Z軸坐標(biāo) ⑥X軸坐標(biāo) ⑦樣品臺 ⑧馬達(dá)驅(qū)動的可變角度選擇裝置
NKD-8000系統(tǒng)提供可變的角度選擇裝置,它提供*馬達(dá)驅(qū)動的,可由PC機(jī)控制入射光的角度,入射角度從從0°到90°可自由選擇。
通過使用分析軟件中的集成工具就可實(shí)現(xiàn)對T和R的s-偏振光譜和p-偏振光譜進(jìn)行獨(dú)立分析或二者一起分析。
通過作為選件的X-Y掃描臺可以對大尺寸樣品進(jìn)行掃描,樣品在X、Y兩個(gè)方向上的大行程是100mm,同時(shí)保持入射光斑始終位于行程的中間。
在測定時(shí)有許多樣品架備選,它們可以夾持不同類型尺寸的樣品。全PC控制使這種方法對整個(gè)樣品的數(shù)據(jù)收集和分析變得簡單、準(zhǔn)確和快捷。
多個(gè)角度
如果在應(yīng)用中只需一些不連續(xù)的入射光角度,那么多角度選件可以提供一個(gè)滿意的解決方案。從0°到90°,用戶可自定義三個(gè)入射光角度。
附件
熱臺:可控制樣品溫度至150度,測定變溫下的T和R,對測定光學(xué)涂層和基體的光譜位移十分有用。
顯微鏡/相機(jī):對樣品進(jìn)行顯微分析。
微光斑附件:將入射光斑聚焦至200微米,特別適合表征微小樣品和局部區(qū)域。


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