雙石英管∶外管直徑100mn，懸掛的內(nèi)管直徑80mm，金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上發(fā)生cvD反應(yīng)。（見下圖）

兩根爐管上安裝有真空密封法蘭，允許反應(yīng)氣體在兩個(gè)管（10mm間距）之間流動(dòng)，情性氣體在管內(nèi)流動(dòng)以進(jìn)行冷卻。

· 搭載由多通道流量控制系統(tǒng)和真空泵共同組成的CVD系統(tǒng)。

爐子的底部安裝有一對(duì)滑軌，可使?fàn)t子從爐管的一側(cè)滑動(dòng)到另一側(cè)，以實(shí)現(xiàn)快速加熱和快速冷卻。

·包含一個(gè)止滑夾，用于固定爐子的位置。

·最高溫度可達(dá)1100℃。

雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，可有效降低殼體表面溫度。

· 內(nèi)爐膛表面涂有姜國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命。

開門斷電，提高實(shí)驗(yàn)安全性。

最高溫度∶ 1100℃（≤30min） 工作溫度∶ 1000℃

推薦升溫速率∶≤10℃/min

加熱元件∶摻參鉬鐵鉻鋁合金

·電壓∶220

可根據(jù)需求選擇單溫區(qū)或雙溫區(qū)兩種爐膛。（雙溫區(qū)見下圖）

加熱爐額定功率∶3KW（不包括CVD系統(tǒng)）

加熱區(qū)∶400mm （單溫區(qū)），200mm*2（雙溫區(qū)）

高純石英管80mm外徑x 1800mm長

高純石英管100mm外徑x 1400mm長

鍍鉻鋼制成的雙滑軌

不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端，便于組裝

適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多種氣體的切換使用，而不會(huì)造成大氣進(jìn)入加熱管。

氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實(shí)用，操作簡便。

采用觸摸屏來控制氣體的流量，顯示流量準(zhǔn)確，方便操作。

所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸。

多通道質(zhì)子流量計(jì)系統(tǒng)參數(shù)∶

輸入電壓∶ AC 2207/5OHz單相

功率∶23w

此設(shè)備可根據(jù)需求配置合適的真空泵組

·GZK-101低真空機(jī)組∶

·工作電電壓∶220v，50~60HZ

· 功率∶ 1KW

·系統(tǒng)極限真空度∶1.0*10-1Pa

·抽氣速率∶ 4.4L/ S

*103G高真空機(jī)組：

采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序

溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護(hù)

儀表控溫精度∶ +/- 1°C

熱電偶型號(hào)∶ K型

為保證使用安全該電爐為開門斷電設(shè)計(jì)

所有電氣部件均為UL認(rèn)證，并可通過TV、CSA認(rèn)證

CE certified

一年保修，終身技術(shù)支持。

特別提示∶ 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)