SJ6000激光干涉無損檢測儀可用于精密機床、大規(guī)模集成電路加工設備等的定位精度測量、誤差修正和控制。激光干涉儀的特點是在具有強大的排除干rao能力的情況下還具有非常高的精度，其分辨率可以達到納米級,從而可以大大提高制造領域的制造精度。

激光干涉儀是一個交流測試系統(tǒng)，當激光光束強度受環(huán)境影響發(fā)生變化時，其頻率不會受光強變化影響發(fā)生變化，也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此，它的抗擾力強，精度高，測量結果可靠，在精度高要求的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領域得到廣泛應用。

與傳統(tǒng)的檢定方法相比，激光干涉儀具有較高的精度和效率，并能及時處理數(shù)據，為機床誤差修正提供依據。中圖儀器SJ6000激光干涉無損檢測儀在測量精度、測量速度、測量類型等方面選擇上，給用戶提供了更多選擇。

應用

數(shù)控機床的傳動機構一般是滾珠絲桿副，滾珠絲桿副在生產制造和裝配過程中都存在一定誤差，且長期使用造成的磨損等因素都會使其精度下降，當前有效且廣泛應用的方法是利用激光干涉儀對數(shù)控機床進行螺距誤差補償。

對數(shù)控機床進行螺距誤差補償

SJ6000激光干涉無損檢測儀可用于精密機床、大規(guī)模集成電路加工設備等的定位精度測量、誤差修正和控制。激光干涉儀的特點是在具有強大的排除干rao能力的情況下還具有非常高的精度，其分辨率可以達到納米級,從而可以大大提高制造領域的制造精度。

與不同光學附件結合，SJ6000激光干涉儀可以測量距離、直線度、垂直度平行度、平面度。由于儀器為模塊化結構，安裝位置靈活，便于分析機床誤差來源；而且測量時可以在工作部件運動過程中自動采集數(shù)據，更接近機床的實際使用狀態(tài)。位置精度是機床的重要指標，目前各國機床檢定標準中都推薦使用激光干涉儀。因此，可以說用激光干涉儀檢測機床各項誤差是一種用傳統(tǒng)測量手段難以實現(xiàn)的技術。