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掃描探針顯微鏡的設(shè)計易于集成到電子顯微鏡中。 互補的SPM 和SEM 技術(shù)的結(jié)合使得能夠利用兩種常用顯微鏡技術(shù)的優(yōu)勢。
LiteScope™提供了廣泛的掃描探針顯微鏡（SPM）成像模式，可通過更換探針輕松使用。
用于制造納米/微結(jié)構(gòu)和表面修飾。通過這種組合，LiteScope™可以輕松快速地對制造的結(jié)構(gòu)進行3D檢查。
關(guān)聯(lián)顯微鏡是一種受益于兩種不同技術(shù)的同一對象成像的方法。
相關(guān)探針 和電子顯微鏡（CPEM）已開發(fā)用于使用相關(guān)成像技術(shù)（正在申請），并帶來了解決方案，該解決方案可以同步：
CPEM技術(shù)是市場上同類產(chǎn)品中的個，它允許在同一位置和同一時間使用同一協(xié)調(diào)系統(tǒng)測量SPM和SEM。
通過電子掃描樣品進行二維分析。
通過物理探針掃描樣品。
結(jié)合了兩種技術(shù)，并提供的相關(guān)成像。
CPEM可以在同一時間和同一協(xié)調(diào)系統(tǒng)中同時通過SEM和SPM對一個區(qū)域進行同時的表面表征。
以已知的恒定偏移量和相同的分辨率進行同時掃描，可確保在同一表面上進行分析，并可通過我們的NenoView軟件直接用于在線成像。
LiteScope™通常用于高真空中，但也可根據(jù)要求適用于超高真空條件。
我們提供非磁性的版本，也可根據(jù)要求提供閉環(huán)。
LiteScope™放置在SEM / FIB顯微鏡的載物臺上，甚至可以在傾斜位置進行測量，例如與FIB技術(shù)同時使用。
所有控制LiteScope™的電子設(shè)備都集成到一個控制單元中。該單元是標準的19英寸機架，可以輕松地安裝在SEM電子設(shè)備的空閑插槽上，也可以簡單地自由放置以匹配手頭任務(wù)的需要。
NenoView是用戶友好的軟件，它可以控制設(shè)置測量，數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理。NenoView 支持CPEM技術(shù)，并使其能夠直接和內(nèi)部利用相關(guān)成像。
LiteScope™提供并支持各種SPM測量方法和探頭。
其設(shè)計的基石和價值的技術(shù)特征是通用探頭支架，可以非常輕松地“即插即用”安裝不同的探頭。
| Akiyama probes | Tuning fork based probes | PRS/A* | Pt/Ir wire | |
|---|---|---|---|---|
| STM (Scanning Tunneling Microscopy) | Yes | Yes | No | Yes |
| AFM – Contact Mode | No | No | Yes | No |
| AFM – Tapping Mode | Yes | Yes | Yes | No |
| AFM – Conductive Mode | No | Yes | No | No |
| MFM (Magnetic Force Microscopy) | No | Yes | No | No |
| KPFM (Kelvin Probe Force Microscopy) | No | Yes | No | No |
| EFM (Electrostatic Force Microscopy) | No | Yes | No | No |
| FMM (Force Modulation Mode) | No | No | Yes | No |
| Local voltage measurement | No | Yes | No | Yes |
| Local current measurement | No | Yes | No | Yes |
* Piezo-Resistive Sensing / Active (PRSA) probes
接觸模式
在接觸模式下，在整個樣品表面上“下垂”，并且可以直接使用懸臂的偏轉(zhuǎn)來測量表面的輪廓，或更常見的是，使用將懸臂保持在一定角度所需的反饋信號進行測量。恒定撓度。
輕敲模式
在輕敲模式下，驅(qū)動探頭以其共振頻率或接近共振頻率垂直振蕩。這種振動是通過探針（音叉），集成加熱器元件（PRSA）或懸臂支架（PRS）中的小型壓電元件的壓電特性實現(xiàn)的。這種振蕩的幅度通常在幾納米到200納米之間變化。
導(dǎo)電模式
C-AFM）是原子力顯微鏡（AFM）的一種變體，與形貌學同時測量電流以構(gòu)建研究樣品的電導(dǎo)率圖。電流流過顯微鏡的金屬涂層和導(dǎo)電樣品。
EFM是一種動態(tài)非接觸式原子力顯微鏡，可在其中探測靜電力。由于分離的電荷的吸引或排斥而產(chǎn)生該力。這是一個遠距離作用力，可以從樣品中檢測出100 nm或更大的距離。
LiteScopeTM也可用作獨立的納米操縱器。將金屬粘貼在樣品中所需的位置，然后測量局部電壓/電流。此模式不是顯微鏡技術(shù)，但可用于測量例如電子束感應(yīng)電流等。
FMM是在接觸模式下運行的AFM成像的擴展，用于檢測樣品表面機械性能的變化，例如彈性或附著力。
在FMM模式下，AFM與樣品表面接觸時進行掃描，并且Z反饋環(huán)與恒力模式AFM一樣保持恒定的懸臂撓度。
KPFM是一種掃描探針法，其中可以使用與宏觀Kelvin探針相同的原理來測量探針與表面的局部接觸電勢差。AFM中的懸臂是一個參比電極，該參比電極與表面形成電容器，在該表面上以恒定間隔橫向掃描。懸臂不是像通常的AFM那樣以其機械共振頻率ω0從外部驅(qū)動，盡管在此頻率下在和表面之間施加了交流電壓。
MFM是原子力顯微鏡的一種模式，其中尖銳的磁化可掃描磁性樣品；樣品的磁性相互作用被檢測到并用于重建樣品表面的磁性結(jié)構(gòu)。
MFM可測量多種類型的磁相互作用，包括磁偶極-偶極相互作用，磁疇壁，磁渦旋等。MFM掃描通常使用非接觸式AFM（NC-AFM）模式。
STM是一種用于在原子水平上成像導(dǎo)電表面的技術(shù)。STM不僅可以用于超高真空，還可以在空氣，水以及各種其他液體或氣體環(huán)境中使用，溫度范圍從接近零開爾文到幾百攝氏度。
該探頭基于石英音叉 和微機械懸臂
這種新型探頭的是，用戶可以通過一個探頭同時受益于音叉的極其穩(wěn)定的振蕩和硅懸臂的合理彈簧常數(shù)。
由NANOSENSORS提供
壓電電阻敏感有源（PRSA）探頭是硅懸臂梁，具有集成的壓電電阻橋和熱加熱器，用于自感應(yīng)和自觸發(fā)掃描探頭顯微鏡應(yīng)用。
壓電電阻集成到匹配的惠斯通電橋中，以優(yōu)化靈敏度并補償環(huán)境熱漂移。
由SCL-Sensor.Tech提供
石英音叉用于檢測和表面之間的原子力。音叉的高剛度可實現(xiàn)非常低的振蕩幅度，而高Q因子可確保足夠的靈敏度。探頭可以具有一個導(dǎo)電，該導(dǎo)電可以連接到電子讀數(shù)器（用于導(dǎo)電AFM或隧穿電流讀數(shù)器），而不會與叉形電極發(fā)生串擾。樣品的磁性也可以通過帶有鐵磁的音叉?zhèn)鞲衅鱽頇z查。此外，有經(jīng)驗的最終用戶可以使用各種材料來構(gòu)造音叉?zhèn)鞲衅?，以調(diào)節(jié)所需的特性。
導(dǎo)線是用于STM測量的基本探針。
盡管Pt / Ir合金是最容易用于此目的的合金之一，但可以使用許多其他材料（例如金，鉬，鎳等）。導(dǎo)線可以被電化學蝕刻或機械切割以形成非常鋒利的。這種探針還適合在納米操縱器模式下進行本地電壓/電流測量。
LiteScope™是專為在“ 即插即用 ”模式下集成到不同制造商的SEM顯微鏡而設(shè)計的。我們提供可以根據(jù)客戶要求定制的適當適配器和饋通。
LiteScope™易于安裝，只需通過四個螺釘將電子顯微鏡連接到樣品臺，即可將電纜插入已準備好的真空饋通中。
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