納米級高速大行程
XLS系列線性，是由超聲波驅(qū)動(dòng)，可提供不同行程的精確定位。由于采用超聲波馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，速度可達(dá)到200mm/s，并且該平臺(tái)適用于掃描，可提供恒定的掃描速度，速度不穩(wěn)定性低于2%。
該平臺(tái)采用超聲波馬達(dá)，對于這種馬達(dá)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)是通過接觸點(diǎn)的橢圓振蕩產(chǎn)生。如下圖所示。通過橢圓的振蕩推動(dòng)平臺(tái)產(chǎn)生微小移動(dòng)，并通過高頻率產(chǎn)生的速度，并且沒有噪聲，電機(jī)在定位后可產(chǎn)生自鎖，由于馬達(dá)在橢圓振蕩的上端才會(huì)與平臺(tái)接觸，大大提高平臺(tái)的使用壽命通常在10-100km。
XLS系列平臺(tái)可提供不同的行程，行程范圍可達(dá)到92mm。為了適應(yīng)不同精度要求的應(yīng)用，平臺(tái)集成不同精度的，根據(jù)閉環(huán)系統(tǒng)中傳感器的精度可分為以下幾類線性平臺(tái)
1）集成-1250位置傳感器的壓電馬達(dá)平臺(tái)-min setp1250nm，
| XLS-1-40 | XLS-1-50 | XLS-1-60 | XLS-1-70 | XLS-1-80 | XLS-1-100 | XLS-1-120 | Unit |
travel range | 27 | 32 | 37 | 42 | 50 | 72 | 92 | mm |
resolution | 1250 | nm |
unidirectional repeatability | ±1250 | nm |
bidirectional repeatability | ±2500 | nm |
load capacity | 0.5 | kg |
holding force | 1 | N |
driving force | 1 | N |
max. speed | 200 | mm/s |
min. speed | 2 to 5 | mm/s |
cable length | 1.5 | m |
2）集成-312位置傳感器的壓電馬達(dá)平臺(tái)-min setp350nm
| XLS-1-40 | XLS-1-50 | XLS-1-60 | XLS-1-70 | XLS-1-80 | XLS-1-100 | XLS-1-120 | Unit |
travel range | 27 | 32 | 37 | 42 | 50 | 72 | 92 | mm |
resolution | 350 | nm |
unidirectional repeatability | ±350 | nm |
bidirectional repeatability | ±700 | nm |
load capacity | 0.5 | kg |
holding force | 1 | N |
driving force | 1 | N |
max. speed | 200 | mm/s |
min. speed | 2 to 5 | mm/s |
cable length | 1.5 | m |
3) 集成-78位置傳感器的壓電馬達(dá)平臺(tái)-min setp80nm
| XLS-1-40 | XLS-1-50 | XLS-1-60 | XLS-1-70 | XLS-1-80 | XLS-1-100 | XLS-1-120 | Unit |
travel range | 27 | 32 | 37 | 42 | 50 | 72 | 92 | mm |
resolution | 80 | nm |
unidirectional repeatability | ±80 | nm |
bidirectional repeatability | ±160 | nm |
load capacity | 0.5 | kg |
holding force | 1 | N |
driving force | 1 | N |
max. speed | 200 | mm/s |
min. speed | 2 to 5 | mm/s |
cable length | 1.5 | m |
4) 集成-1位置傳感器的壓電馬達(dá)平臺(tái)-min setp25nm
| XLS-1-40 | XLS-1-50 | XLS-1-60 | XLS-1-70 | XLS-1-80 | XLS-1-100 | XLS-1-120 | Unit |
travel range | 27 | 32 | 37 | 42 | 50 | 72 | 92 | mm |
resolution | 25 | nm |
unidirectional repeatability | ±25 | nm |
bidirectional repeatability | ±50 | nm |
load capacity | 0.5 | kg |
holding force | 1 | N |
driving force | 1 | N |
max. speed | 200 | mm/s |
min. speed | 2 to 5 | mm/s |
cable length | 1.5 | m |
此外，由于該平臺(tái)采用模塊化設(shè)計(jì)，可以組成多維位移平臺(tái)，例如：XY;XYZ,XYQ等。并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺(tái)。
主要特點(diǎn)：
l 大行程 （100mm）
l 高精度（25nm）
l 高速度（100mm/s）
l 支持?jǐn)嚯娮枣i
l 可在真空和非磁環(huán)境
主要應(yīng)用：
l 光電子學(xué)
l 掃描電子顯微鏡
l 半導(dǎo)體生產(chǎn)
l 醫(yī)學(xué)和材料科學(xué)
l 生命科學(xué)與生物技術(shù)學(xué)
l 顯微鏡和計(jì)量學(xué)
