*的SEM更為緊湊 寬幅僅為45 cm的緊湊型的設(shè)計，仍具備4.0 nm的圖像分辨率。全新開發(fā)的用戶界面和電子光學(xué)系統(tǒng)讓您深切體驗其高性能。
“*的SEM更為緊湊”
寬幅僅為45 cm的緊湊型的設(shè)計，仍具備4.0 nm的圖像分辨率。
全新開發(fā)的用戶界面和電子光學(xué)系統(tǒng)讓您深切體驗其高性能。
FlexSEM 1000 II，憑借全新設(shè)計的電子光學(xué)系統(tǒng)和高靈敏度檢測器，可在加速電壓20 kV下實現(xiàn)4.0 nm的分辨率。全新開發(fā)的用戶界面，具有亮度和對焦自動調(diào)節(jié)功能，可以在短時間內(nèi)進行各種觀察。此外，還搭載了全新的導(dǎo)航功能“SEM MAP”，這個功能可彌補電子顯微鏡上難以找準視野的缺點，實現(xiàn)最直觀的視野移動。
尺寸雖小，卻具備同類產(chǎn)品中的分辨率。
金顆粒沉積
加速電壓：20 kV
倍率：60,000倍
信號：SE
分辨率：4 nm
金顆粒沉積
加速電壓：20 kV
倍率：50,000倍
信號：BSE
分辨率：5 nm
配備可優(yōu)化放射電流的功能，以便在較低的加速電壓下也能獲得足夠的亮度，而獲得噪點小且清晰的圖像。
儲氫合金
加速電壓：5 kV
倍率：30,000倍
信號：SE、無金屬涂層
Al-Ni復(fù)合材料
加速電壓：3 kV
倍率：10,000倍
信號：BSE、無金屬涂層
搭載GUI和自動調(diào)節(jié)功能，讓初學(xué)者也能得心應(yīng)手。只要按一下自動對焦（AFC）、自動亮度調(diào)節(jié)（ABCC）按鈕，就可以獲得的圖像。（自動調(diào)節(jié)：與以往相比，縮短時間約13秒*3）當然，也可以通過觸屏進行操作。
“SEM MAP”功能可有效實現(xiàn)觀察時的視野搜索和樣品定位。根據(jù)內(nèi)置攝像頭所拍攝的圖像，定位樣品，一鍵點擊即可移動到觀察部位。
在SEM MAP上導(dǎo)入的圖像會自動進行粘貼，并以分布圖的形式顯示。
寬幅僅為45厘米，緊湊型設(shè)計，地減小占用空間。機體僅支持AC100 V 3P電源插座。此外，機體和電源盒可以分離，從而大幅度提升諸如桌面設(shè)置等的布局靈活性。
FlexSEM 1000 II
| 項目 | 內(nèi)容 |
|---|---|
| 分辨率*3 | 4.0 nm（二次電子像、加速電壓：20 kV、高真空模式） 15.0 nm（二次電子像、加速電壓：1 kV、高真空模式） 5.0 nm（背散射電子像、加速電壓：20 kV、低真空模式） |
| 加速電壓 | 0.3 kV～20 kV |
| 倍率 | ×6～×300,000 （照片倍率） ×16～×800,000 （顯示器顯示倍率） |
| 低真空設(shè)置 | 6～100 Pa |
| 電子槍 | 集中燈箱（Pre-Centered Cartridge Filament） |
| 樣品臺 | 3軸馬達驅(qū)動樣品臺 X：0～50 mm、Y：0～40 mm、Z：5～15 mm T：-15～90°、R：360° 可觀察范圍：直徑64mm（R聯(lián)用）*4 |
| 樣品尺寸 | 直徑80 mm（選配：直徑153mm） |
| 樣品高度 | 40 mm |
| 尺寸 | 機體：450（寬度）×640（進深）×690（高度） mm 電源盒：450（寬度）×640（進深）×450（高度） mm |
| 選項 |
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| 軟件 | Multi Zigzag（連續(xù)視野圖像導(dǎo)入功能） |
加速電壓：5 kV
真空度：30 Pa
倍率：1,000倍
信號：BSE、無金屬涂層
加速電壓：5 kV
真空度：30 Pa
倍率：5,000倍
信號：BSE、無金屬涂層
FlexSEM 1000 II采用新型偏壓系統(tǒng)，可在低加速電壓下獲得高放射電流。從而，在低加速電壓下也能實現(xiàn)同類產(chǎn)品中的圖像清晰度（S/N）。
加速電壓：15 kV
倍率：10,000倍
信號：SE、無金屬涂層
加速電壓：3 kV
倍率：10,000倍
信號：SE、無金屬涂層
加速電壓：3 kV
倍率：15,000倍
信號：SE、無金屬涂層
加速電壓：5 kV
真空度：40 Pa
倍率：1,000倍
信號：BSE、無金屬涂層
加速電壓：5 kV
倍率：40,000倍
信號：SE、有金屬涂層
加速電壓：5 kV
真空度：60 Pa
倍率：500倍
信號：UVD、無金屬涂層
利用SEM上4分割背散射電子檢測器所獲得的信號，可計算4個方向的表面形狀，從而無需進行樣品傾斜和視野對位，即可構(gòu)建三維模型。
Hitachi map 3D支持多個國家的語言，具備用于調(diào)節(jié)樣品位置的各種校正功能、以及可追溯測量過程的測量系統(tǒng)、符合ISO標準的表面粗糙度（面粗糙度、線粗糙度）的測定、此外還包括表面積、體積等其他測量功能以及報告輸出等功能。
詳情請瀏覽“日立領(lǐng)域”頁面。
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