電路類型

電感反饋式自激振蕩電路，全自動點(diǎn)火，同軸電纜輸出匹配調(diào)諧，取功率反饋，進(jìn)行閉環(huán)自動控制。

工作頻率

40.68MHZ±0.05%

頻率穩(wěn)定性

<0.1%

輸出功率

800－1500w

輸出功率穩(wěn)定性

≤0.3%

電磁場泄漏射強(qiáng)度

距機(jī)身30cm

電場強(qiáng)度E

<1V/m

磁場強(qiáng)度H

<0.2A

輸出工作線圈內(nèi)徑

25mm，
3匝

炬管

三重同心石英炬管

同軸型噴霧器外徑

6mm

雙筒形霧室外徑

35mm

氬氣流量計(jì)規(guī)格和載氣壓力表規(guī)格

等離子氣流量計(jì)（100-1000）L/h ；(1.6-16L/min)

輔助氣流量計(jì)（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min)

載氣流量計(jì)（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min)

載氣穩(wěn)壓閥（0-0.6M Pa）

光電倍增管規(guī)格

R212UH

信號采集為V/F交換

1mV對應(yīng)100Hz

光電倍增管負(fù)高壓

200-1000V
穩(wěn)定性<0.05%

光電倍增管電流測量范圍

10-12 -10-4A

光路

Czerny- Turner

焦距

1000mm

光柵規(guī)格

離子刻蝕全息光柵

刻線密度

3600線/mm

分辨率

≤0.008nm

刻線面積

80×110mm

掃描波長范圍

3600線/mm

波長范圍

180-500 nm

透鏡

ф30，1：1成像

入射狹縫

20µm

發(fā)射鏡規(guī)格

（78× 105 × 16）mm

出射狹縫

20µm

步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動*小步距

0.0005nm

項(xiàng) 目

名 稱

數(shù) 量

1

主 機(jī)

一臺

2

智能循環(huán)冷卻水箱

一臺

3

循環(huán)水箱水管

20m

4

Lenovo計(jì)算機(jī)

一臺

5

激光打印機(jī)

一臺

6

保險絲（2A，5A）

各五支

7

內(nèi)氣路氣管（白色透明）

10米

8

外氣路氣管（白色透明）

3米

9

減壓閥和接嘴

一套

10

炬管

二個

11

霧室

二個

12

標(biāo)準(zhǔn)玻璃同心霧化器

二個

13

專用工具

一套

14

總電源電纜線3m、電源線、COM連接線、CD光盤，使用手冊、質(zhì)量檢測報告，廢液桶

各一