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MIRA 超大試樣室掃描電子顯微鏡 （LC-SEM）

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京科斯儀器有限公司
  • 品牌
  • 型號
  • 所在地 北京市
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2015/12/11 8:00:00
  • 訪問次數(shù) 1325

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MIRA 超大試樣室掃描電子顯微鏡（LC-SEM），是目前世界上zui大的掃描電鏡，同時裝備多種不同的探測設(shè)備（背散射電子成像、EDS、EBSD、FIB、FT-IR）來滿足各種需求。不僅可以檢查大型零部件的物理特性，還可以評價原材料的化學(xué)和結(jié)晶體特性。幾乎對任何樣本都可實(shí)現(xiàn)非常準(zhǔn)確的，直到在分子層面的一站式檢查和分析。

詳細(xì)信息 在線詢價

        MIRA 超大試樣室掃描電子顯微鏡 （LC-SEM）

    使用通常掃描電子顯微鏡時，面臨zui大困難之一是被測樣品大小的限制。通常情況下，只能對直徑在數(shù)十到一百毫米內(nèi)小的樣本進(jìn)行研究，且只有一兩種關(guān)聯(lián)的分析工具。這限制了這一重要測試技術(shù)的應(yīng)用。LC-SEM克服了這一點(diǎn)，其超大真空室和光學(xué)系統(tǒng)擴(kuò)展視圖功能zui大可容納直徑與高度分別達(dá)1.5米，重300kg的樣品，分辨率優(yōu)于10納米，放大倍數(shù)10倍-30萬倍，真空度10-6毫巴，加速電壓30kv。從一粒沙子到一個柴油發(fā)動機(jī)大小的樣品，不必切小，僅用一臺儀器就可以做全面的檢查。其足夠大的空間還可進(jìn)行原位觀察，實(shí)現(xiàn)零部件疲勞、應(yīng)力/應(yīng)變、磨損等非破壞性試驗(yàn)研究。
MIRA 超大試樣室掃描電子顯微鏡（LC-SEM），是目前世界上zui大的掃描電鏡，同時裝備多種不同的探測設(shè)備（背散射電子成像、EDS、EBSD、FIB、FT-IR）來滿足各種需求。不僅可以檢查大型零部件的物理特性，還可以評價原材料的化學(xué)和結(jié)晶體特性。幾乎對任何樣本都可實(shí)現(xiàn)非常準(zhǔn)確的，直到在分子層面的一站式檢查和分析。
 
  
LC-SEM 真空室和真空系統(tǒng)
 

   LC-SEM試樣室有 3 m3、9 m3、12 m3 三種型號，可觀察zui大試樣尺寸：直徑1500毫米、高度1500毫米。真空系統(tǒng)裝配有強(qiáng)大的三個真空泵：旋片和轉(zhuǎn)子泵應(yīng)用于低真空，渦輪增壓泵應(yīng)用于高真空，可實(shí)現(xiàn) 10 -6  mbar的高真空。該系統(tǒng)有足夠的能力，除去腔室中試樣的氣體，在45分鐘內(nèi)便可以實(shí)現(xiàn)所需的真空度。腔室設(shè)置有多層墻體保證了不受任何外部磁場的影響。
 

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

     當(dāng)一個人觀察一個小的對象時，會在手中扭轉(zhuǎn)對象，人眼-可視化系統(tǒng)是固定的。當(dāng)觀察一個更大的物體時，人會在物體周圍左右移動，以便*觀察它。*種情況是類似于標(biāo)準(zhǔn)SEM的情況，而后者則反映了LC - SEM的情況。
LC -SEM 配備了定位系統(tǒng)，配備有一個5 +1旋轉(zhuǎn)軸系統(tǒng)，電子搶、相機(jī)和各種探測器都懸掛在旋轉(zhuǎn)軸上，zui初是利用遠(yuǎn)程控制來調(diào)整軸的角度和高度，使柱體的*位置相對迅速接近樣品的重點(diǎn)區(qū)域，再通過計(jì)算機(jī)控制移動電子槍和探測器以及完整的光學(xué)系統(tǒng)，可以滿足從不同角度的視角觀察。在研究過程中，還可以進(jìn)行修改以便優(yōu)化信號接收。并且還可以移動試樣，這樣*地減少了試樣裝載次數(shù)。
    四個電腦顯示器通過探測器跟蹤柱和樣品的運(yùn)動以及觀察試樣表面特性和分析化學(xué)信息，軟件、電氣和機(jī)械接口通過一個單一的終端控制。
 

 成像和分析系統(tǒng)
原 位 觀 測
 除了研究大樣本， LC–SEM還可應(yīng)用于在材料的變形行為的原位觀測以及在微系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域生產(chǎn)過程的現(xiàn)場觀測控制中。LC–SEM 也可以通過 “中斷監(jiān)控” 實(shí)現(xiàn)較大的工程部件的無損檢測實(shí)驗(yàn)。例如，測試高壓泵的高負(fù)荷部件的摩擦特性，可以通過進(jìn)行中斷監(jiān)控來研究。這些部件在正常工作一段時期后，可在 LC-SEM 中觀察研究，之后可以再立即工作，從而得到不同使用階段的摩擦特性。這種監(jiān)測系統(tǒng)的方式將打開一個全新的、廣闊的工程應(yīng)用領(lǐng)域，使得我們能夠獲得更直接、更詳細(xì)的對磨合和破壞過程的了解。
 

 

 
在LC-SEM內(nèi)的疲勞試驗(yàn) 
 
為了滿足評估原位變形特性研究的需要，將一個機(jī)械液壓疲勞試驗(yàn)機(jī)融入到了腔室中，可以在LC - SEM中執(zhí)行疲勞測試。
在這種聯(lián)合測試中，不僅能確定材料過載臨界點(diǎn)，而且裂紋的生成與擴(kuò)展也能被觀察和研究，晶體材料的特性能在執(zhí)行疲勞試驗(yàn)后進(jìn)行研究，由此顯微鏡轉(zhuǎn)換成了一個完整的測試設(shè)備，能提供完整的測試結(jié)果。該系統(tǒng)能使研究人員記錄材料裂紋聚集之前的結(jié)構(gòu)變化，同時能夠觀察微觀結(jié)構(gòu)對初期裂紋形成與擴(kuò)展的影響。該系統(tǒng)還設(shè)計(jì)有一個節(jié)點(diǎn)控制機(jī)制，允許感興趣的點(diǎn)始終留在視野當(dāng)中。本機(jī)的優(yōu)異的穩(wěn)定性，能夠*地改善疲勞、開裂現(xiàn)象的原位研究。
 
 
 
  應(yīng)用實(shí)例：美國田納西大學(xué)--應(yīng)用LC-SEM的疲勞試驗(yàn)
 
 
 

 

             
 
應(yīng)用行業(yè)
 
  •        材料科學(xué)  
  •         
  •         軍事與國防
  •  
  •         文化與考古
  •         半導(dǎo)體和電子元件       
  •         醫(yī)藥與生物材料
  •         法醫(yī)學(xué)      
     
 
 
  應(yīng)用領(lǐng)域
 
  •         無損檢測
  •         原位分析
  •         故障分析
  •     高精密小型生產(chǎn)、裝配控制  
  •         研究與開發(fā)
 
 
  
 
 

 

 LC-SEM   技術(shù)規(guī)格參數(shù)

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

 

 
 
 
 

 

 
 

 LC-SEM用戶

德國不來梅大學(xué)   Universität Bremen
德國漢諾威大學(xué)   Umiversitat Hannover
德國亞琛工業(yè)大學(xué)  RWTH Aachen University
德國埃爾蘭根—紐倫堡大學(xué)  Friedrich-Alexanqder-Universität Erlangen-Nûrnberg
德國多特蒙德工業(yè)大學(xué)  TU Dortmund
德國不倫瑞克工業(yè)大學(xué)  Technische Universität  Braunschweig
日本宇宙航空研究開發(fā)機(jī)構(gòu)（JAXA）
美國NOVA無損檢測中心  設(shè)在西肯塔基大學(xué) Nondestructive Analysis （NOVA） Center   
美國能源部國家核安全管理局的機(jī)構(gòu)   Y-12 National Security Complex
美國*裝備部 延克*基地材料實(shí)驗(yàn)室   Tinker AFB Materials Laboratory

  

      
 
 

電子光學(xué)
 
分辨率
優(yōu)于10納米
放大倍數(shù)
10x – 300,000x
加速電壓
0.2 – 30keV
探測器
二次反射通道倍增電子探測器
四象限背散射電子探測器
分析能力
能量色散X射線光譜儀（EDS）
 
電子背散射衍射（EBSD）
附加功能
聚焦離子束（FIB）
 
傅立葉變換紅外光譜儀（FT - IR）
 
內(nèi)部攝像系統(tǒng)
圖像處理
 
軟件
MIRA控制系統(tǒng)
硬件
個人電腦，顯示器和打印機(jī)
真空系統(tǒng)
 
低真空泵
旋片泵，65立方米/ h
 
旋轉(zhuǎn)式轉(zhuǎn)子泵，400立方米/小時
高真空泵
渦輪泵2400升/秒
極限真空
直至45分鐘后10-6毫巴
真空室
3 m3; 9 m3; 12 m3

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

標(biāo)本
 
zui大尺寸
高達(dá)直徑1500毫米，高度1500毫米
zui大質(zhì)量
300 kg,
定位系統(tǒng)
 
軸
5 +1微步控制軸系統(tǒng)
重復(fù)精度
±50 μm
定位范圍
 
X-軸
600mm, 1000mm, 1500mm
Z-軸
600mm, 1000mm, 1500mm
A-軸
90°
B-軸
135°
C-軸
360°
D-軸
350°

 
 
 
 
 

 

*的定位系統(tǒng)
 
 
 
 
 
 
 
產(chǎn)品更詳細(xì)介紹:
 
  
美國國家核安全管理局實(shí)驗(yàn)室（Y12）LC-SEM應(yīng)用
美國*裝備部延克*基地材料實(shí)驗(yàn)室 LC-SEM應(yīng)用 
Visitec 超大試樣室掃描電鏡 （LC-SEM）視頻介紹 
 
北京科斯儀器有限公司
 
地址：北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)榮華南路16號中冀斯巴魯大廈1504
 
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通過裝備高級電子槍，LC-SEM有能力提供高于10nm的分辨率和高達(dá)30萬倍的圖像放大能力，加上強(qiáng)大的二次反射電鏡的通道倍增探測器，整個系統(tǒng)通過多個運(yùn)行系統(tǒng)保證圖像的質(zhì)量。阻尼系統(tǒng)可以防止外部振動影響系統(tǒng)，同時電子槍和探測器有一個創(chuàng)新的冷卻循環(huán)系統(tǒng)。LC-SEM 和它的所有部件都采用100％的計(jì)算機(jī)控制，其系統(tǒng)全部使用Microsoft Windows ®的軟件設(shè)計(jì)。
通過分析系統(tǒng)的集成，在腔室的真空環(huán)境下，通過背散射電子成像、能量發(fā)散X射線光譜儀（EDS）和電子背散射衍射系統(tǒng)（EBSD），LC-SEM 擁有生成完整的測試結(jié)果的能力。LC-SEM 也可以配置聚焦離子束（FIB）和傅立葉變換紅外光譜儀（FT - IR）實(shí)現(xiàn)其擴(kuò)展功能。LC-SEM的可變壓力方式還可以讓工程師和科學(xué)家做傳導(dǎo)和絕緣樣本的臨界面特性研究，包括金屬、陶瓷和金屬間化合物。
  更多：LC-SEM產(chǎn)品及應(yīng)用圖片


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