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XAD光譜分析儀 SDD探測器上照式X射線熒光光譜儀

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XAD系列熒光光譜儀是一款全元素上照式光譜儀,可測量納米級厚度、微小樣品和凹槽異形件的膜厚,也可滿足微區(qū)RoHS檢測及多元素成分分析,的算法及解譜技術(shù)解決了諸多業(yè)界難題

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XAD系列熒光光譜儀是一款全元素上照式光譜儀,可測量納米級厚度、微小樣品和凹槽異形件的膜厚,也可滿足微區(qū)RoHS檢測及多元素成分分析,的算法及解譜技術(shù)解決了諸多業(yè)界難題。


性能優(yōu)勢:

1. 微小樣品檢測:最小測量面積0.0085mm2

2. 變焦裝置算法:可改變測量距離測量凹凸異形樣品,變焦距離可達0-90mm

3. 核心EFP算法Al(13)-U(92)元素的成分分析,Li(3)-U(92)元素的涂鍍層檢測多層多元素,甚至有同種元素在不同層也可精準測量

4. 的解譜技術(shù):減少能量相近元素的干擾,降低檢出限

5. 高性能探測器:SDD硅漂移窗口面積50mm2探測器

6. X射線裝置:微焦加強型射線管搭配聚焦裝置

7. 上照式設(shè)計:實現(xiàn)對超大樣品或者密集點位進行快、準、穩(wěn)高效率測量

8. 大行程移動平臺:手動XY滑臺100*150mm,自動XY平臺200*200mm


應(yīng)用領(lǐng)域:

涂鍍層分析-RoHS檢測-地礦全元素分析-合金、貴金屬檢測

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涂鍍層分析

行業(yè)應(yīng)用:


巧妙的結(jié)構(gòu)設(shè)計:

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一六儀器研制的測厚儀的光路交換裝置,讓X射線和可見光攝像同一垂直線,達到視覺與測試定位一體,且X光擴散度??;與EFP軟件配合達到對焦、變焦雙焦功能,實現(xiàn)高低、凹凸不平各種形狀樣品的測試;高集成的光路交換裝置與接收器的角度可縮小一倍,可以減少弧度傾斜放樣帶來的誤差,同時特征X射線可以穿透測試更厚的表層。


核心EFP算法:

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專業(yè)的研發(fā)團隊在AlphaFp法的基礎(chǔ)上,計算樣品中每個元素的一次熒光、二次熒光、靶材熒光、吸收增強效應(yīng)、散射背景等多元優(yōu)化迭代開發(fā)出EFP核心算法,結(jié)合的光路轉(zhuǎn)換技術(shù)、變焦結(jié)構(gòu)設(shè)計及穩(wěn)定的多道脈沖分析采集系統(tǒng),只需要少量的標(biāo)樣來校正儀器因子,可測試重復(fù)鍍層、非金屬、輕金屬、多層多元素以及有機物層的厚度及成分含量。


RoHS領(lǐng)域

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合金、貴金屬、地礦檢測

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技術(shù)參數(shù)表

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