OX400低濃度氧化鋯氧分析儀
低濃度氧化鋯氧分析儀OX400的氧化鋯傳感器中采用了薄膜沉積技術(shù)，在氧化鋯元素和鉑層間建立了分子聯(lián)接。
這樣不僅預(yù)防剝離，還可以減小傳感器尺寸，確保高速響應(yīng)和長(zhǎng)壽命。
低濃度氧化鋯氧分析儀OX400可用于控制和監(jiān)視各種半導(dǎo)體應(yīng)用，并控制環(huán)境，空氣泄漏入惰性氣體及其他過(guò)程。
用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐和烘干爐，以及LCD制造工藝中的氧氣濃度控制
用于控制錫焊爐氣流和回流爐中氣體的氧氣濃度，以及電子制造中使用的手套箱和氣體生產(chǎn)工藝中氧氣濃度的測(cè)量
測(cè)量氧氣濃度，防止粉塵運(yùn)輸中粉塵爆炸
特性 使用壽命長(zhǎng)，響應(yīng)速度快
由于使用了橫河電機(jī)的薄膜沉積技術(shù)，傳感器的壽命周期提高了三倍 圓柱形傳感器設(shè)計(jì)便于置換被測(cè)氣體，確保高速響應(yīng)
高性能和高可靠性
即使在低氧濃度下，仍具有的精度和線性 在不同應(yīng)用中，可選擇泵式或抽提采樣方式
內(nèi)置功能和多種自診斷功能
自帶多選擇器，自動(dòng)量程，特定量程以及泵開(kāi)/關(guān)功能 提供多種自診斷功能，以檢測(cè)故障，如加熱器溫度錯(cuò)誤，溫度傳感器斷偶和傳感器電阻值錯(cuò)誤
出眾的維護(hù)性
可現(xiàn)場(chǎng)更換傳感器 小型輕量，易于安裝
規(guī)格
| 測(cè)量對(duì)象 | 惰性氣體中的氧氣濃度
(易燃性氣體、二氧化硅、腐蝕性氣體或液體(包括水蒸氣)除外) |
| 測(cè)量系統(tǒng) | 氧化鋯系統(tǒng) |
| 采樣方法 | 泵式，抽提式等 |
| 樣氣條件 | 流速: 200 ± 25ml/min(僅用于傳感器)
溫度: 0~50℃(無(wú)結(jié)露)
濕度: 無(wú)結(jié)露
壓力: 0~300PaG
大容許壓力: 30kPaG |
| 測(cè)量量程 | 0-10ppm O2至0-100vol% O2 |
| 輸出量程 | | 自動(dòng): | 0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，0-(默認(rèn))其他: 可設(shè)為0- 0ppm，0- 00ppm，0-000 ppm，0- %，0- 0%，0-，1~9的整數(shù) | | 固定: | 設(shè)為0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，或0- | | 部分: | 可設(shè)置下限值或上限值 | |
| 模擬輸出 | 2路輸出，
一次: 4～20mA DC(大負(fù)載電阻: 550Ω)
二次: 可選為0~1，0~5，0~10V DC(負(fù)載電阻: 10kΩ或更大) |
| 接點(diǎn)輸出 | | 報(bào)警輸出2點(diǎn): | 錯(cuò)誤接點(diǎn)，O2濃度報(bào)警接點(diǎn) | | 量程范圍輸出1點(diǎn): | 接點(diǎn)輸出 | | 多選擇器(選配件): | 流路切換接點(diǎn)輸出和測(cè)量中流路信息接點(diǎn)輸出 | |
| 接點(diǎn)輸入 | 1點(diǎn): 采樣氣體吸入泵的遠(yuǎn)程ON/OFF |
| 自診斷 | | 錯(cuò)誤(故障): | 傳感器錯(cuò)誤，加熱器溫度錯(cuò)誤，溫度傳感器斷開(kāi)，設(shè)備溫度錯(cuò)誤，CPU錯(cuò)誤，F(xiàn)AN停止 | | 報(bào)警(警告): | 加熱器不穩(wěn)定，傳感器錯(cuò)誤，電動(dòng)勢(shì)異常，非對(duì)稱電壓錯(cuò)誤錯(cuò)誤，錯(cuò)誤，傳感器電阻錯(cuò)誤，O2濃度上/下限，限 | |
| 串口通信 | RS-232，38400 bps |
| 方法 | (1)3點(diǎn): 10ppm，1000ppm，空氣，(2)2點(diǎn): 可設(shè)定為零點(diǎn)氣和量程氣，(3)1點(diǎn)，(4)空氣 |
| 暖機(jī)時(shí)間 | 20分以內(nèi) |
| 電源 | 100 - 120V AC/220 - 240V AC，50/60Hz |
| 功耗 | 100～120V AC，200VA 大，220～240V AC，400 VA 大 |
| 尺寸 | 213 (W) x 132 (H) x 約375 (D) mm |
| 質(zhì)量 | 約5kg |
| 管線連接 | 氣體入口: Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋
氣體出口: Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋 |
| 環(huán)境條件 | | 安裝條件: | 室內(nèi)，盤裝或壁裝，非易燃區(qū)域 | | 環(huán)境溫度: | 0～40℃，無(wú)結(jié)露 | | 環(huán)境濕度: | 5～85%RH | | 儲(chǔ)存溫度: | -5～50℃ | |
符合的**標(biāo)準(zhǔn)
和EMC標(biāo)準(zhǔn) | | **標(biāo)準(zhǔn): | 61010-1:2001 | | EMC: | EN 61326-1 Class A，Table 2(用于工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)) EN 61326-2-3，EN 61000-3-2，EN 61000-3-3 | |
特性
| 重復(fù)性 | ±1%F.S.(10，100，1000 ppm，1%，10%或) |
| 線性 | ±2%F.S.
±3%F.S.(0~100ppm或更低) |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 90%響應(yīng)
10秒內(nèi)(0~1%或更高)
30秒內(nèi)(小于0~1%) |
| 漂移 | ±2%F.S./周 |
