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白光干涉儀/3D光學(xué)輪廓儀 Nexview™ NX2

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產(chǎn)品介紹 Nexview™ NX2 光學(xué)輪廓儀是為更高應(yīng)用需求設(shè)計(jì)的,集超精密、算法、應(yīng)用靈活性和自動(dòng)化為一體,展現(xiàn)了ZYGO相干掃描干涉(CSI)技術(shù)的能力。

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Nexview™ NX2 3D光學(xué)輪廓儀.png



產(chǎn)品介紹:


       Nexview™ NX2 光學(xué)輪廓儀是為更高應(yīng)用需求設(shè)計(jì)的,集超精密、算法、應(yīng)用靈活性和自動(dòng)化為一體,展現(xiàn)了ZYGO相干掃描干涉(CSI)技術(shù)的能力。


       Nexview™ NX2 光學(xué)輪廓儀采用的是非接觸式測(cè)量技術(shù),具有亞納米測(cè)量精度(所有放大倍數(shù)下),可以更快更好地測(cè)量各種樣品表面,是一款具有非常高投資回報(bào)率的產(chǎn)品。滿足各種應(yīng)用需求,包括平面度,粗糙度和波紋度,薄膜,臺(tái)階高度,適用于幾乎任何材質(zhì)表面,因此Nexview NX2是一款不容錯(cuò)過(guò)的產(chǎn)品。


       Nexview NX2作為一代的旗艦機(jī)型,提供更大范圍可分辨特征來(lái)實(shí)現(xiàn)讓用戶的計(jì)量更好、更快和更可靠:


? 大面積1.9 MP傳感器:高靈敏度,在單次測(cè)量中獲取更多的信息


? 高速測(cè)量:只需幾秒時(shí)間,優(yōu)化的測(cè)試能力和程序控制


? 自動(dòng)零件聚焦和定位:減少操作員測(cè)試差異,提高培訓(xùn)和測(cè)試效率


? 重復(fù)性特征:優(yōu)異的測(cè)量精度和可重復(fù)性,為高要求的生產(chǎn)應(yīng)用提供服務(wù)


? 抗震計(jì)量: SureScan抗震技術(shù),在震動(dòng)環(huán)境下也可實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的計(jì)量


? SmartPSI™技術(shù):對(duì)超光滑表面進(jìn)行快速分析測(cè)量


? 2D和3D的相關(guān)性:測(cè)量結(jié)果符合ISO 25178和ISO 4287標(biāo)準(zhǔn)。


? Mx™軟件:實(shí)現(xiàn)儀器控制、分析和測(cè)量自動(dòng)化


? 真彩色圖像:增強(qiáng)可視化效果


? 可變圖像縮放:三個(gè)內(nèi)置變焦鏡頭,優(yōu)化視場(chǎng)以及實(shí)現(xiàn)儀器的靈活性


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SiC測(cè)試結(jié)果,清晰看清水晶紋路和拋光過(guò)程痕跡


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Mx 軟件界面


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全自動(dòng)200mm集成測(cè)試平臺(tái)


你所需要的光學(xué)輪廓儀


       您不用再根據(jù)你要測(cè)量的樣品表面類型來(lái)選擇輪廓儀。Nexview NX2輪廓儀可以測(cè)量不同類型的樣品表面,包括精密拋光光學(xué)樣品表面(亞埃級(jí)sub-Angstrom表面粗糙度),到陡峭加工角度(85度)。所有測(cè)試都是三維、非接觸式測(cè)量,提供非常優(yōu)質(zhì)的測(cè)量結(jié)果。


分析&控制軟件


       Nexview NX2輪廓儀使用ZYGO Mx™軟件,支持完整系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)分析,包括豐富的交互式3D繪圖,量化的形貌信息,直觀的測(cè)量導(dǎo)航以及內(nèi)置的SPC統(tǒng)計(jì),質(zhì)量控制圖,通過(guò)/失敗條件設(shè)置。


? 交互式3D繪圖:縮放,平移,旋轉(zhuǎn),并實(shí)時(shí)更新結(jié)果。


? 靈活分析:一系列定量分析結(jié)果、數(shù)據(jù)視圖和過(guò)濾器。


? 直觀的用戶界面:易于學(xué)習(xí)和使用的流程界面設(shè)計(jì)。


? 內(nèi)置SPC分析工具:跟蹤結(jié)果,監(jiān)控合格和不合格的標(biāo)準(zhǔn),跟蹤處理數(shù)據(jù)。


       還有滿足特殊應(yīng)用需求的應(yīng)用程序模塊,如透明薄膜的樣品測(cè)量,2D圖像分析等。


自動(dòng)化操作


       Nexview NX2輪廓儀是電子化設(shè)備,無(wú)需手動(dòng)控制,可以自動(dòng)化編程序列測(cè)量多個(gè)零件,菜單化零件測(cè)量,以及零件表面大尺寸拼接測(cè)試。


簡(jiǎn)潔,流線型設(shè)計(jì)


       Nexview NX2輪廓儀有很大的工作區(qū)域,測(cè)試界面條理清晰,使測(cè)量設(shè)置和操作簡(jiǎn)單&快速。


       其200毫米自動(dòng)化測(cè)量平臺(tái)是簡(jiǎn)潔高效的工業(yè)化設(shè)計(jì)的縮影,并具有 ±4度高負(fù)載傾斜功能包含校正運(yùn)算—這使得測(cè)量調(diào)整變得十分簡(jiǎn)單,甚至對(duì)于表面特征不明顯的樣品。



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