產(chǎn)品介紹：
所述ZeGage™臨和ZeGage™臨HR 3D光學(xué)廓提供非接觸測量及微表征和納米尺度的幾乎任何表面特征，以及設(shè)置性能臺式的新標(biāo)準(zhǔn)，易用性，靈活性，和精密級工業(yè)非接觸式表面輪廓儀。
基礎(chǔ) ZeGage™ Pro 模型提供納米尺度的表面映射，滿足大多數(shù)工業(yè)表面的需求。對于更光滑的樣品，具有更精細(xì)的表面光潔度，ZeGage™ Pro HR 提供 20 倍以上的精度和 0.15 nm 的垂直精度。
近十年來，ZYGO 的 ZeGage™ 產(chǎn)品一直在將干涉表面輪廓分析從實驗室引入生產(chǎn)。借助 ZeGage Pro 和 Pro HR 系統(tǒng)，強(qiáng)大且值得信賴的功能（例如用于振動穩(wěn)健計量的 SureScan™ 技術(shù)）現(xiàn)在與 ZYGO 的零件查找器和智能設(shè)置工具相結(jié)合，可以快速輕松地更換樣品，限度地減少浪費(fèi)的時間并限度地提高產(chǎn)量。
與所有早期的 ZeGage™ 輪廓儀一樣，ZeGage™ Pro 和 Pro HR 系統(tǒng)采用緊湊的臺式設(shè)計。結(jié)合 SureScan™ 技術(shù)，無需昂貴的隔振臺、系統(tǒng)外殼或耗材。它們還運(yùn)行 ZYGO 的交互式控制軟件Mx™，以實現(xiàn)簡單和詳細(xì)的可視化，以幫助您控制過程。
Mx 軟件屏幕（單擊圖像查看大圖）
閱讀更多內(nèi)容，了解 ZeGage™ Pro 系統(tǒng)的強(qiáng)大功能、多功能性和價值如何使您受益。
主要特征：
? 抗振，用于生產(chǎn)車間的計量和過程控制。
? 符合 ISO 25178 標(biāo)準(zhǔn)的結(jié)果確保您對計量的信心。
? 非接觸式、基于區(qū)域的計量技術(shù)可防止零件損壞并且對零件鋪設(shè)不敏感。
? 測量不需要消耗品。
強(qiáng)大的性能
專有的非接觸式測量技術(shù)通過 SureScan™ 技術(shù)得到增強(qiáng)，對振動的敏感性低，易于放置在您設(shè)施內(nèi)的任何位置。
具有納米級精度的定量表面計量提供了的測量能力。
高分辨率190萬像素的圖像傳感器可在數(shù)秒內(nèi)完成快速的面積測量，以實現(xiàn)出色的表面細(xì)節(jié)和可視化。
全自動測量序列和現(xiàn)場拼接可實現(xiàn)大面積的高分辨率檢測。（需要可選的電動部件平臺。）
多功能性
測量各種表面材料和參數(shù)，包括表面紋理、形狀、臺階高度等的 2D 和 3D 輪廓。
隨附的 Mx 軟件提供了用于表面數(shù)據(jù)可視化、分析和報告的綜合工具。
使用包括物鏡轉(zhuǎn)盤、手動和電動樣品臺以及用于使用 Cognex VisionPro® 進(jìn)行薄膜形貌分析和 2D 分析的可選軟件模塊在內(nèi)的附件擴(kuò)展您投資的測量范圍。
生產(chǎn)力和價值
智能設(shè)置技術(shù)通過自動化零件查找、燈光設(shè)置和掃描配置來減少培訓(xùn)時間并縮短零件更換時間。智能設(shè)置通常會在將樣品置于物鏡下后 1 分鐘內(nèi)生成個數(shù)據(jù)圖。
與替代系統(tǒng)（包括機(jī)械接觸測針輪廓儀）相比，具有成本效益的性價比具有優(yōu)勢。
非接觸式方法意味著無需擔(dān)心耗材更換成本。
緊湊、抗振的 SureScan™ 技術(shù)可輕松集成到您設(shè)施的任何位置。
