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OLS5000 激光共焦顯微鏡

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 天津君騰科技有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào) OLS5000
  • 所在地 天津市
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時(shí)間 2024/6/11 15:02:23
  • 訪問次數(shù) 71

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OLS5000激光共焦顯微鏡

 

概述

OLS5000激光共焦顯微鏡可準(zhǔn)確測量亞微米級的形貌和表面粗糙度。數(shù)據(jù)采集??比奧林巴斯以前的顯微鏡型號(hào)快四倍，從而大大提高了生產(chǎn)效率。

 

高分辨率，準(zhǔn)確成像

憑借對各種類型樣品進(jìn)行準(zhǔn)確3D測量的能力，系統(tǒng)可提供用于質(zhì)量保證和工藝控制的可靠數(shù)據(jù)。

橫向分辨率

405納米紫色激光和專用高數(shù)值孔徑物鏡可以捕捉到傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡、白光干涉儀或紅色激光顯微鏡難以發(fā)現(xiàn)的精細(xì)紋理和缺陷。
紅光型（658納米：0.26微米空間) 微米紫光型（405納米：0.12線和空間)

一致的測量值

LEXT專用物鏡可準(zhǔn)確測量采用其他方式測量會(huì)發(fā)生畸變的周邊區(qū)域。

傳統(tǒng)物鏡

LEXT物鏡

新開發(fā)的MEMS掃描振鏡

新的MEMS掃描振鏡具有較低的掃描軌跡失真和較小的光學(xué)像差，可進(jìn)行準(zhǔn)確的X-Y掃描。

4K掃描技術(shù)

4K掃描技術(shù)可在X軸方向掃描4096像素，是奧林巴斯以前顯微鏡型號(hào)的四倍。
OLS5000顯微鏡可在無需進(jìn)行圖像校正的情況下檢測幾乎垂直的陡峭斜面以及很低的臺(tái)階。

捕獲真實(shí)形貌

由于傳統(tǒng)激光顯微鏡采用諸如平滑去除噪聲等標(biāo)準(zhǔn)圖像處理技術(shù)，其有時(shí)會(huì)將準(zhǔn)確測得的細(xì)微高度不規(guī)則測量數(shù)據(jù)連同噪聲一起去除。
OLS5000顯微鏡采用奧林巴斯自動(dòng)檢測可靠數(shù)據(jù)的智能判別算法，可在不丟失細(xì)微高度不規(guī)則測量數(shù)據(jù)的情況下實(shí)現(xiàn)去確測量。

其他高分辨率測量技術(shù)

  • MEMS掃描PEAK算法
  • 雙共焦系統(tǒng)
  • Sq噪聲（測量噪聲）保證
  • 準(zhǔn)確性和重復(fù)性均可保證
  • 混合匹配算法
  • 混合阻尼機(jī)構(gòu)
  • HDR掃描

快速采集結(jié)果：高速掃描

該顯微鏡的掃描算法既可提高數(shù)據(jù)質(zhì)量又可提高速度，從而縮短您的掃描時(shí)間，簡化您的工作流程，實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)力的提升。

PEAK算法

VLSI標(biāo)準(zhǔn)80納米高度樣品(MPLFLN10XLEXT)

OLS5000顯微鏡采用了用于3D數(shù)據(jù)構(gòu)建的PEAK算法。該算法可獲得從低倍率到高倍率的高精度數(shù)據(jù)，并可縮短數(shù)據(jù)采集時(shí)間。

跳躍式掃描

在測量存在近似垂直面（如電子器件或MEMS）樣品上的臺(tái)階形貌時(shí)，可通過限制Z方向掃描范圍縮短數(shù)據(jù)采集時(shí)間。

在不降低精度的情況下，測量700微米的臺(tái)階大約在15秒左右（使用MPLAPON20x物鏡時(shí)）。

其他提高速度的技術(shù)

  • 頻帶掃描
  • 1線數(shù)據(jù)采集

效率工作：簡單的操作程序

系統(tǒng)具有自動(dòng)數(shù)據(jù)采集功能，因而無需進(jìn)行復(fù)雜的設(shè)置調(diào)整。甚至普通用戶也可以獲得準(zhǔn)確的檢測結(jié)果。

簡化測量區(qū)域

簡單分析功能可僅在測量范圍內(nèi)測量臺(tái)階、線寬、表面粗糙度、面積和體積。自動(dòng)檢測測量結(jié)果變動(dòng)的原因（如體積分析中參考平面的邊緣位置和閾值）讓測量結(jié)果保持穩(wěn)定，不受操作員技能水平的影響。

測量兩個(gè)區(qū)域之間的臺(tái)階高度差和距離

測量兩個(gè)區(qū)域之間的角度差

測量區(qū)域的面積/體積；自動(dòng)檢測參考平面，因此無需設(shè)置閾值。

測量區(qū)域的表面粗糙度

通過自動(dòng)檢測區(qū)域的邊緣測量寬度

基于區(qū)域中的圓形自動(dòng)識(shí)別測量半徑R和距離基準(zhǔn)平面的高度

自動(dòng)圖像校正

智能判別處理可在無損數(shù)據(jù)精度的情況下自動(dòng)消除測量噪聲，而智能找平功能可探測零高度位置的主水平面（參考平面）。簡單一次點(diǎn)擊即可啟動(dòng)兩項(xiàng)工作。

利用模板節(jié)省時(shí)間

報(bào)告中包含的所有操作和過程均可保存為模板。
在重復(fù)進(jìn)行相同測量時(shí)，使用此模板可采用同流程獲得下一組數(shù)據(jù)的分析報(bào)告。
無需操作人員干預(yù)即可操作流程和測量點(diǎn)的功能能夠以很小差異進(jìn)行快速、準(zhǔn)確的分析。

輸出報(bào)告并進(jìn)行測量 輸出報(bào)告并保存模板 在下次采集過程中，打開已保存的模板 即刻輸出基于模板的報(bào)告

令系統(tǒng)更便于使用的其他技術(shù)

  • 實(shí)時(shí)宏觀測圖
  • 連續(xù)自動(dòng)對焦
  • 智能掃描II
  • 宏功能

靈活：可測量尺寸較大的樣品

可測量高度可到210毫米的樣品

OLS5000顯微鏡的擴(kuò)展架可容納高達(dá)210毫米的樣品，而超長工作距離物鏡能夠測量深度達(dá)到25毫米的凹坑。
在進(jìn)行這兩種測量時(shí)，您只需將樣品放在載物臺(tái)上即可。
連桿 刀具 活塞頭

LEXT專用長工作距離物鏡

奧林巴斯可提供能夠針對405納米激光減小像差的10x至100x系列物鏡。本系列還包括低倍率和長工作距離物鏡。所有LEXT專用物鏡均可確保測量性能，由此可以選擇適合您所觀察樣品的一款物鏡。

Rubert & Co標(biāo)準(zhǔn)粗糙度樣板528 (Pt = 1.5微米)

常規(guī)物鏡（50X）

LEXT專用物鏡（50X）

超長工作距離物鏡

我們的LEXT專用物鏡系列產(chǎn)品包括增強(qiáng)顯微鏡測量性能的10x物鏡和長工作距離物鏡。

 

應(yīng)用

汽車/金屬加工

表面紋理/面粗糙度測量（MPLAPON20XLEXT / 3×3拼接）

噴油嘴(復(fù)制品)/面粗糙度測量(LMPLFLN50XLEXT)

活塞環(huán)/面粗糙度測量（MPLAPON50XLEXT）

軸承球/輪廓測量（MPLAPO50XLEXT）

材料

不銹鋼腐蝕坑/高度測量（MPLAPON20XLEXT / 3×3拼接）

銅板/面粗糙度測量（MPLAPON50XLEXT）

擴(kuò)散板/輪廓測量（MPLAPON50XLEXT / 3×3拼接）

海綿/輪廓測量（MPLAPON20XLEXT / 3×3拼接）

電子元器件

鎳塊/高度測量(MPLAPON20XLEXT)

MEMS(MPLAPON50XLEXT)

光刻膠/高度測量（MPLAPON100XLEXT）

鍵合金線（MPLAPON100XLEXT）

其他

微針/輪廓測量（MPLAPON50XLEXT / 6×6拼接）

皮膚（復(fù)制品）/面粗糙度測量（MPLAPON20XLEXT / 5×5拼接）
由文化學(xué)園大學(xué)服裝學(xué)院功能設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)室提供

研磨石/輪廓測量（MPLAPON20XLEXT）

圓珠筆插座/面粗糙度測量（LMPLFLN20XLEXT）

 

技術(shù)規(guī)格

主機(jī)

型號(hào) OLS5000-SAF OLS5000-SMF OLS5000-LAF OLS5000-EAF OLS5000-EMF
總倍率 54x – 17,280x
視場直徑 16um – 5,120um
測量原理 光學(xué)系統(tǒng) 反射式共聚焦激光掃描激光顯微鏡
反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡
彩色
彩色DIC
光接收元件 激光：光電倍增管（2ch）
彩色：CMOS彩色相機(jī)
高度測量 顯示分辨率 0.5nm
Linear scale 0.78nm
動(dòng)態(tài)范圍 16 bits
重復(fù)性*1 *2 *6 10x : 0.1μm, 20x : 0.03μm, 50x : 0.012μm, 100x : 0.012μm
準(zhǔn)確性*1 *3 *6 0.15 + L/100μm (L: Measuring length[μm])
拼接圖像準(zhǔn)確度 *1 *4 *6 10x : 5.0+L/100μm, 20x or higher : 1.0+L/100μm (L: Stitching height[μm])
測量噪聲*1 *5 *6 1nm [Typ]
寬度測量 顯示分辨率 1nm
重復(fù)性 *1 *6 10x : 0.2μm, 20x：0.05μm, 50x : 0.04μm, 100x : 0.02μm
準(zhǔn)確度*1 *3 *6 測量值 +/- 百分之1.5
拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *6 10x : 24+0.5L μm, 20X 15+0.5L μm, 50X 9+0.5L μm, 100X 7+0.5L μm (L: Stitching length[mm])
單次測量時(shí)測量點(diǎn)的數(shù)量可到 4096 x 4096 pixel
測量點(diǎn)的數(shù)量可到 36 Mpixel
XY 載物臺(tái)配置 長度測量模塊 ? 無 無 ? 無
工作范圍 100 x 100mm Motorized 100 x 100mm Manual 300 x 300 mm Motorized 100 x 100mm Motorized 100 x 100mm Manual
樣品高度可到 100mm 40mm 37mm 210mm 150mm
激光光源 波長 405nm
輸出可到 0.95 mW
激光分類 2類 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)
彩色光源 白光 LED
電氣功率 240 W 240 W 278 W 240 W 240 W
質(zhì)量 顯微鏡主體 約31 kg 約 32 kg 約 50 kg 約43 kg約 44 kg
控制箱 約12 kg

* 1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)規(guī)定的恒溫恒濕環(huán)境下使用時(shí)提供保證（溫度：20?C±1?C, 濕度:50％±1％）。
* 2 在使用MPLAPON LEXT 系列物鏡測量時(shí)超過20次。
* 3 在使用LEXT專用物鏡測量時(shí)。
* 4 在使用MPLAPON100XLEXT 物鏡測量時(shí)的典型值。
* 5 基于奧林巴斯認(rèn)證體系保證。

物鏡技術(shù)規(guī)格

系列 型號(hào) 數(shù)值孔徑（NA） 工作距離（WD）（毫米）
UIS2物鏡 MPLFLN2.5x 0.08 10.7
MPLFLN5x 0.15 20
LEXT專用物鏡（10X） MPLFLN10xLEXT 0.3 10.4
MPLAPON20xLEXT 0.6 1
LEXT專用物鏡（高性能型) MPLAPON50xLEXT 0.95 0.35
MPLAPON100xLEXT 0.95 0.35
LMPLFLN20xLEXT 0.45 6.5
LEXT專用物鏡（長工作距離型） LMPLFLN50xLEXT 0.6 5
LMPLFLN100xLEXT 0.8 3.4
SLMPLN20x 0.25 25
超長工作距離物鏡 SLMPLN50x 0.35 18
SLMPLN100x 0.6 7.6
LCPLFLN20xLCD 0.45 8.3-7.4
適用于LCD透鏡的長工作距離 LCPLFLN50xLCD 0.7 3.0-2.2
LCPLFLN100xLCD 0.85 1.2-0.9

應(yīng)用軟件

標(biāo)準(zhǔn)軟件 OLS50-BSW 數(shù)據(jù)采集app
分析app (簡單分析)
電動(dòng)載物臺(tái)套裝應(yīng)用*1 OLS50-S-MSP
擴(kuò)展分析應(yīng)用*2 OLS50-S-AA
薄膜厚度測量 OLS50-S-FT
自動(dòng)邊緣測量應(yīng)用 OLS50-S-ED
顆粒物分析應(yīng)用 OLS50-S-PA
多文件分析應(yīng)用 OLS50-S-MA
球體/圓柱體表面角度分析應(yīng)用 OLS50-S-SA

* 1包括自動(dòng)拼接數(shù)據(jù)采集和多區(qū)域數(shù)據(jù)采集功能。
* 2包括輪廓分析、差值分析、臺(tái)階高度分析、表面分析、面積/體積分析、線粗糙度分析、面粗糙度分析和直方圖分析。

產(chǎn)品系列


OLS5000-SAF配置示例

OLS5000-SAF

  • 100毫米電動(dòng)載物臺(tái)
  • 樣品高度可到:100毫米

OLS5000-EAF

  • 100毫米電動(dòng)載物臺(tái)
  • 樣品高度可到:210毫米

OLS5000-SMF

  • 100毫米手動(dòng)載物臺(tái)
  • 樣品高度可到:40毫米

OLS5000-EMF

  • 100毫米手動(dòng)載物臺(tái)
  • 樣品高度可到:150毫米

OLS5000-LAF

  • 300毫米電動(dòng)載物臺(tái)
  • 樣品高度可到:37毫米

PC計(jì)算機(jī)和控制單元

 


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