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精密整體二維電動平移臺EPSD系列采用二維整體式設計，通過步進電機控制，可實現(xiàn)空間XY兩軸位移調整自動化。該系列產品是OMTOOLS為解決工業(yè)生產線、自動化加工裝備、自動化觀測檢測設備等場景中對整體式二維平面運動的需求而開發(fā)設計的整體式二維電動平移臺。該系列產品采用交叉滾柱導軌及直線滑塊導軌，滾珠絲杠傳動，采用整體式結構設計，有效提高正交度和運動精度。中心設計有通光孔，通光孔也可另配玻璃、熒光板，實現(xiàn)透射、反射、散射等掃描對位觀測要求，也可配鋁合金蓋板等直接裝設備和工件等。主體材料采用高強度鋁合金，表面氧化黑處理，耐磨性好，外觀精美。
| 型號 | EPSD20 | EPSD50 | EPSD100 | EPSD150 | EPSD200 | ||
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機械規(guī)格 | 臺面尺寸(mm) | 125x125 | 200x200 | 250x250 | 400x400 | 450x450 | |
| 行程(mm) | X軸：20 Y軸：20 | X軸：50 Y軸：50 | X軸：100 Y軸：100 | X軸：150 Y軸：150 | X軸：200 Y軸：200 | ||
| 中心開口尺寸(mm) | 42X42 | 90X90 | 140x140 | 250x250 | 300x300 | ||
| 極限行程時通光尺寸(mm) | 30x30 | 65x65 | 90x90 | 125x125 | 200x200 | ||
| 傳動機構 | 研磨絲桿Ø6X1 | 研磨絲桿Ø8X2 | 研磨絲桿Ø8X2 | 研磨絲桿Ø10x2 | 研磨絲桿 Ø10x2 | ||
| 導軌（導向機構） | 交叉滾柱導軌 | 交叉滾柱導軌+線性滑塊導軌 | |||||
| 主體材料及表面處理 | 鋁合金，黑色陽極氧化處理 | ||||||
| 整體高度（mm） | 60.5 | 84 | 84 | 103 | 103 | ||
| 自重 | 2.5 | 8.5 | 11.1 | 23.9 | 27.0 | ||
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精度規(guī)格 | 分辨率（μm） | 5 | 10 | 10 | 10 | 10 | |
| 20細分下的分辨率 | 0.25 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | ||
| 速度（mm/s） | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | ||
| 單向定位精度（μm） | ≤20 | ≤25 | ≤30 | ≤50 | ≤50 | ||
| 重復定位精度（μm） | ≤±5 | ≤±5 | ≤±8 | ≤±10 | ≤±10 | ||
| 回程間隙（μm） | ≤5 | ||||||
| 靜態(tài)平行度（mm） | ≤0.1 | ||||||
| 運動直線度（μm） | ≤15 | ≤20 | ≤25 | ≤30 | ≤35 | ||
| 運動平行度（μm） | ≤15 | ≤20 | ≤25 | ≤30 | ≤35 | ||
| 偏擺（“） | ≤30 | ≤50 | ≤50 | ≤60 | ≤65 | ||
| 俯仰（“） | ≤35 | ≤50 | ≤50 | ≤60 | ≤65 | ||
| 電氣規(guī)格 | 電機及步距角（゜） | 二相28步進電機，步距角1.8 | 二相42步進電機，步距角1.8 | 二相57步進電機，步距角1.8 | |||
| 電機品牌及型號 | 信濃 | 雷賽 | |||||
| 工作電流（A） | 1.3 | 2.5 | 4.2 | ||||
| 電機扭矩（N·m） | 0.0785 | 0.6 | 1.3 | ||||
| 驅動器品牌及型號 | 雷賽 | ||||||
| 滑臺接頭&光柵尺接頭 | 兩個DB9（針） | ||||||
| 滑臺接頭線纜類型 | 高柔性線纜 | ||||||
| 滑臺接頭線纜長度（m） | 0.4 | ||||||
| 限位傳感器（內置） | NPN-PCB-3L-20S-3308 | NPN-PCB-3L-50S-6508 | NPN-PCB-1L-2508 | ||||
| 原點傳感器（內置） | NPN-PCB-3L-20S-3308 | NPN-PCB-3L-50S-6508 | NPN-PCB-1L-2508 | ||||
| 傳感器電源電壓（V） | DC5-24V ±10% | ||||||
| 消耗電流（mV） | 合計30mA以下 | ||||||
| 控制輸出 | 輸出方式：NPN集電極開路輸出； 負載電源：DC5-24V； OFF電源：0.5mA以下； 殘留電壓：0.7V以下（負載電流50mA時）、0.4V以下（負載電流5mA時）； | ||||||
| 輸出邏輯 | 限位傳感器：到達限位時輸出晶體管OFF（截止）； 零位光電傳感器：到達限位時輸出晶體管ON（導通）； | ||||||
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負載 | 水平負載 | 10kg | 20kg | 20kg | 30kg | 30kg | |
| 倒置負載 | 3kg | 8kg | 8kg | 10kg | 10kg | ||
| 豎直負載 | 3kg | 8kg | 8kg | 10kg | 10kg | ||
| 速度為空載情況下，按照步進電機速度為300 /轉理論計算和實際測量值。 | |||||||
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