Sensofar 三維表面輪廓儀 S Lynx

S Lynx可以實現(xiàn)白光共聚焦、白光干涉和Ai多焦面疊加三種功能的切換。使客戶無需花費高昂的費用就能同時擁有共聚焦顯微鏡和干涉儀，相較與S Neox具有，對于無須電動平臺進行大范圍拼接和批量檢測的用戶具有超過的性價比

客戶即擁有共聚焦技術(shù)的超高XY軸分辨率0.14um,又有干涉技術(shù)的亞納米級Z軸分辨率可達0.1nm及高達0.1%的測量重復(fù)性。

技術(shù)指標

一、硬件部分

1.1 光源及壽命

長壽命高亮度白色LED （550nm)   40000小時以上

1.2 真彩色成像

圖像色彩及還原性更好

1.3   XY分辨率

0.17um

1.4 顯微鏡共焦裝置

MicroDisplay設(shè)計，測量頭內(nèi)無運動部件

1.5   物鏡轉(zhuǎn)換器及物鏡

1.5.1 電動五孔物鏡轉(zhuǎn)換器

1.5.2 物鏡參數(shù)

1.6 視野范圍

117-3508um

1.7 樣品側(cè)面觀察能力

86度

1.8 載物臺行程及樣品高度

可傾斜±3度，手動載物臺行程于150X100mm，尺寸為240X155mm高度支持150mm

可滿足φ0.2-20長度5-10mm的工件粗糙度形貌測量。

1.9 內(nèi)置專業(yè)避震裝置

有

1.10 適用材料

     表面反射率0.5~99%

適用材料：金屬、塑料、陶瓷、玻璃等多種材料。

1.11 放大倍數(shù)

100-20000

1.12 觀察方式

白光干涉，白光共聚焦和多焦面疊加，三種掃描均為非接觸式。

1.13掃描速度

Z掃描速度為2-5微米/秒。掃描50微米高度形貌約30秒。

二、軟件部分

2.1粗糙度測量部分

2.1.1 同時具備線粗糙度和面粗糙度測量的能力

2.1.2 粗糙度標準

ISO25178 國際標準

2.2 觀察輔助

明場，暗場，白光共聚焦、共聚焦狹縫

2.3 拼圖功能

有，拼接范圍為電動平臺移動行程

2.4 具備免費離線軟件與共享功能

2.5 自動操作記憶功能

可存儲測量參數(shù)，可自動測量表面粗糙度。如選配批量分析軟件，可自動分析結(jié)果給出報告

2.6 操作系統(tǒng)

WINDOWS10 64bit

2.7 操作軟件支持的語言

中文、英文

2.8   窗口設(shè)計

按鍵式，可保存及調(diào)用參數(shù)

2.9 支持的掃描模式

白光干涉、相位差干涉、共聚焦

三、測量性能與追溯性

3.1   XY分辨力

分辨能力不低于0.17微米

3.2 測量顯示分辨率

0.01nm

3.3   Z軸測量分辨率

共聚焦1nm   VSI模式下1nm

3.4   載物臺Z軸線性度、行程及分辨率

線性度為<0.5μm/mm,行程為40mm，分辨率為2 nm

3.5   Z軸測量重復(fù)性

臺階高度重復(fù)精度小于0.1%