用途

107JPC智能二維精密測(cè)量顯微鏡，采用透、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量。特別適用于磁頭、磁卡、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測(cè)試。廣泛地適用于計(jì)量室，生產(chǎn)作業(yè)線以及科學(xué)研究等部門。

儀器特點(diǎn)

 

     本儀器采用金屬光柵尺和讀數(shù)頭，并配有計(jì)算機(jī)圖像處理系統(tǒng)。通過(guò)計(jì)算機(jī)接口和二維測(cè)量程序可使被測(cè)工件的輪廓直接顯示在計(jì)算機(jī)屏幕上，可由AUTOCAD進(jìn)行編輯。二維測(cè)量程序包括點(diǎn)、線、園、弧、直線度、圓度、螺紋、凸輪等測(cè)量功能。本儀器放大倍數(shù)高，工作臺(tái)除作X，Y坐標(biāo)的移動(dòng)外，還可以作360°的旋轉(zhuǎn)，亦可以進(jìn)行高度方向Z坐標(biāo)的測(cè)量。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外，還可作斜光線照明。

 

主要技術(shù)規(guī)格

 

1．  物、目鏡放大倍率  （物鏡也可選其他倍率：5×； 20×； 25×； 60×； 100×）

物 鏡  PL		分劃目鏡WBF		工作距離(㎜)	視場(chǎng)直徑(㎜)	總放大倍率
放大倍率/數(shù)值孔徑	焦距(㎜)	放大倍率	焦距(㎜)
4×/0.1	28.8	10×	25	17.5	Φ4.5	40×
10×/0.25	15.4			11.6	Φ1.8	100×
40×/0.65	4.4			0.66	Φ0.45	400×

2．  測(cè)量工作臺(tái)  150×150㎜ 

玻璃平臺(tái)：        Φ72㎜

                移動(dòng)范圍X—Y：   50×50 ㎜  

分辨率：          0.001㎜（數(shù)顯）

旋轉(zhuǎn)平臺(tái)：        任意360°

分辨率：          5′（游標(biāo)）

3． 測(cè)量系統(tǒng)    精密光柵傳感器數(shù)顯表帶數(shù)據(jù)輸出，配置計(jì)算機(jī)二維數(shù)據(jù)測(cè)量操作系統(tǒng)

Z向輔助測(cè)量：   0.001㎜/2㎜ （選配）

4． 鏡筒        雙目鏡筒：       傾角： 45°  瞳距和屈光度可調(diào)

                升降范圍：       粗動(dòng)： 90㎜ 

微調(diào)： 2㎜

5． 照明系統(tǒng)    透射、反射和輔助照明12W/8V 

可調(diào)光  帶濾光片

6． 電源        220V / 50Hz    70W