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STM7測量顯微鏡

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STM7顯微鏡具有的多功能性,可以提供高性能的、三軸亞微米級精度的零件、電子元件的測量。無論樣品大或小,簡單或復(fù)雜,初學(xué)者或使用熟練者進(jìn)行測量,奧林巴斯STM7系列,可以配置滿足您需要的測量顯微鏡。

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

STM7顯微鏡具有優(yōu)良的多用途性,能夠以亞微米精度實(shí)現(xiàn)對零部件和電氣組件的高性能三軸測量。無論待測樣品是大的還是小的,測量內(nèi)容是簡單的還是復(fù)雜的,測量人員是新手還是專家,奧林巴斯STM7系列就是能滿足您需求、為您量身打造的測量顯微鏡產(chǎn)品。

STM7 通過整合光學(xué)顯微鏡和的測量能力實(shí)現(xiàn)精確測量 
 


多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗(yàn)成就了優(yōu)異的觀察性能

STM7系列采用了當(dāng)前光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此,觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度,此外,像差也被消除,以確保實(shí)現(xiàn)對微小細(xì)節(jié)的高精度測量。 
 

明場圖像
明場圖像
暗場圖像
暗場圖像
微分干涉圖像
微分干涉圖像
偏光圖像
偏光圖像













花崗巖精雕細(xì)琢而成的載物臺基座增強(qiáng)了測量的可靠性

FEM分析
STM7-LF FEM 分析

為了進(jìn)一步保證測量精度,STM7系列采用了一個(gè)配備花崗巖基座的高度耐用和防振動(dòng)的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性,使測量可到達(dá)亞微米水平,同時(shí)確保地降低誤差。


作為高度測量的先鋒,繼續(xù)提供簡單易操作的高精度3軸測量

跟蹤對焦光路
主動(dòng)反射,共聚焦自動(dòng)聚焦系統(tǒng)光路

隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化,高精度測量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測量,而且Z軸方向的高精度測量也成為必須。奧林巴斯成為成功開發(fā)了測量顯微鏡用采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的公司,以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。


嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠

可追溯系統(tǒng)圖
測量顯微鏡溯源系統(tǒng)

奧林巴斯通過一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測量顯微鏡的精確度。 并且在安裝系統(tǒng)時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。


STM7在設(shè)計(jì)上非常重視易用性 

提供適合您樣品尺寸的載物臺

常見問題

  • 短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求。 
     

  • 目前為止,大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程,但是Y軸的行程仍然較小。在測量過程中需要通過旋轉(zhuǎn)樣品來補(bǔ)償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程,這樣的做法費(fèi)事費(fèi)時(shí),效率不高。 
     

  • 由于可測量的范圍窄,無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺上,以實(shí)現(xiàn)一次性同時(shí)測量。

STM7解決方案

  • 共有四種的正方形測量行程的載物臺可供選用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100?mm, 200 mm x 200 mm, 和300 mm x 300 mm)。 不管是大的樣品還是小的樣品,總有一款載物臺會適合您要測量的樣品。 
     

  • 采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實(shí)現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后,載物臺也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動(dòng),并且可以在XY平面上自由穿梭。 
     

  • 300 mm長的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程,這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實(shí)現(xiàn)大型樣品的全部測量,比如300 mm的晶圓和印刷電路板。 
     

stm7_50mm_stage_stmm7-CS50
STM7-CS50 
50mm x 50mm
stm7_100mm_stage_stmm7-CS100
STM7-CS100 
100mm x 100mm
stm7_50mm_stage_stmm7-CS200
STM7-CS200 
200 mm x 200 mm
50mm_stage_stmm7-CS300
STM7-CS300 
300 mm x 300 mm



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