應(yīng)用特點

高精度光學(xué)材料的應(yīng)力雙折射測量

可通過自動拼接測量大口徑光學(xué)窗口

測量速度快，空間分辨率高

可以測量浸沒于折射率液中的大尺寸樣品

定制案例

主機(jī)口徑：?115 mm

單口徑測量時間：10 sec

空間分辨率：0.08 mm

被測樣品尺寸：500 mm x 600 mm

子孔徑測量次數(shù)：7 x 7 （max.)

拼接測量時間：< 15 min

常規(guī)屬性

設(shè)備形式：光軸水平設(shè)計

光源：單LED準(zhǔn)直光源，波長625±10 nm

負(fù)荷：500 kg（包括樣品臺）

探測器像素：1200 x 1000 pixels

通光口徑：89 mm x 74 mm ，單次測量時間<10 sec 可自動拼接測試

運(yùn)動行程：水平方向：600 mm，垂直方向：500 mm

樣品尺寸：長：600 mm；寬：500 mm；厚：200 mm

樣品形狀：表面平行且拋光, 直接透過率>50% @610...640nm

系統(tǒng)性能

雙折射測量范圍：0-100 nm

空腔基線穩(wěn)定性（值的標(biāo)準(zhǔn)差）：≤0.05 nm

重復(fù)性：CaF2標(biāo)樣重復(fù)12次測量值的標(biāo)準(zhǔn)差 ≤0.05 nm