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分子層沉積系統(tǒng)Molecular layer deposition MLD

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京伯英科技有限公司
  • 品牌
  • 型號
  • 所在地 北京市
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時間 2025/2/24 10:46:57
  • 訪問次數(shù) 6

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分子層沉積系統(tǒng)MLD(MolecularLayerDeposition)是一種高級的有機(jī)聚合物薄膜與有機(jī)無機(jī)雜化膜制備技術(shù),可以實(shí)現(xiàn)每個循環(huán)沉積一個分子層,精確控制厚度,在科研和工業(yè)界有非常好的發(fā)展前景

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分子層沉積系統(tǒng)MLD (Molecular Layer Deposition)是一種高級的有機(jī)聚合物薄膜與有機(jī)無機(jī)雜化膜制備技術(shù),可以實(shí)現(xiàn)每個循環(huán)沉積一個分子層,精確控制厚度,在科研和工業(yè)界有非常好的發(fā)展前景。

分子層沉積系統(tǒng)MLD相對于傳統(tǒng)的有機(jī)聚合物薄膜沉積工藝(旋涂,熱蒸發(fā))而言,薄膜厚度精確可控(控制循環(huán)數(shù)),厚度更均勻、階梯覆蓋率和保型性更好、重復(fù)性更可靠。


分子層沉積系統(tǒng)MLD:

通過將兩種反應(yīng)氣體(或者蒸汽)以氣體脈沖形式交替地引入反應(yīng)器,依靠留在基底表面的吸附分子(如羥基或氨基)進(jìn)行反應(yīng)而生成薄膜。由于每次參與反應(yīng)的反應(yīng)物局限于化學(xué)吸附于基底表面的分子,這使得 MLD 具有自限制生長特征。

分子層沉積系統(tǒng)MLD目前可沉積的薄膜有:

 

有機(jī)聚合物物薄膜:

Polyimide聚酰亞胺(熱解可得到碳膜),Polyurea聚脲,Polyamide(聚酰胺(尼龍66),Polyimide–amide聚酰亞胺-酰胺,Polyurethane聚氨酯,Polythiurea聚硫脲,Polyester聚酯,聚乙二醇(PEG)等。

 

有機(jī)無機(jī)雜化薄膜:

Al、Ti、Zn、Fe 的有機(jī)-無機(jī)雜化膜…


設(shè)備沉積部分薄膜均勻性數(shù)據(jù):

材料

基片大小

均勻性

Al-EG(HQ, alucone)

6”

1%

Ti-EG(HQ, Tincone)

6”

1%

Zn-EG(HQ, zincone)

6”

1%

聚酰胺(polyamide)

6”

3%

聚酰亞胺(Polyimide)

6”

3%

聚脲(polyurea)

6”

3%





分子層沉積系統(tǒng)MLD應(yīng)用領(lǐng)域:

MLD沉積的有機(jī)聚合物薄膜、有機(jī)無機(jī)雜化薄膜、有機(jī)無機(jī)納米疊層薄膜,可以用于微電子,MEMS, 薄膜封裝、生物芯片,潤滑,耐磨,耐腐蝕,防靜電,阻燃,耐高溫 防潮,防水保護(hù)層,藥片薄膜衣等領(lǐng)域。


MLD可實(shí)現(xiàn)單層、亞單層、埃級別的精準(zhǔn)厚度控制,在分子水平上控制薄膜的形成和生長,并對形貌無特殊要求,能夠在平面、粒子、纖維、多孔以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)上沉積薄膜。


Polyimide聚亞酰胺與Ta2O5納米疊層的介電常數(shù)與納米力學(xué)性能:

介電常數(shù)隨Ta2O5含量增加而增加。

薄膜的柔軟度、彈性、塑性隨Polyimide聚酰亞胺的增加而增加


分子層沉積系統(tǒng)MLD沉積聚酰亞胺,熱解成炭膜


Al2O3/TMA+EG納米疊層防水層:

作為氣體阻擋層,比單純的氧化鋁薄膜要好,WVTR值可達(dá)0.021 g/(m2·day),而氧化鋁本身值為0.037 g/(m2·day),測試條件:85 °C,相對濕度85%。


PEG薄膜作為防污薄膜-用于生物芯片

MLD沉積PEG薄膜,可以提供厚度精確可控,高質(zhì)量,防污的薄膜,使生物芯片具有高的選擇性、穩(wěn)定、可產(chǎn)業(yè)化。



技術(shù)參數(shù):


反應(yīng)器尺寸:4-8 英寸

反應(yīng)器溫度:室溫~400 oC

前驅(qū)體源:4-6 路液/固源,2-3 路氣源

 

MLD可與氣相色譜、固定床/高壓反應(yīng)釜聯(lián)用

MLD 可與紅外光譜儀聯(lián)用

以上類型 MLD,均可配備實(shí)驗(yàn)全程控制與監(jiān)測系統(tǒng)、尾氣處理等

 



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