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普發(fā) Pfeiffer 推出 OmniGrade 定制殘余氣體分析系統(tǒng)
近日上海伯東德國 Pfeiffer 推出 新產(chǎn)品OmniGrade 定制殘余氣體分析系統(tǒng), 用于復(fù)雜殘余氣體測量, 進行純度測試. OmniGrade 在高真空條件下使用質(zhì)譜法正確測定脫氣率. 避免由于分子污染導(dǎo)致的影響, 達到更高水平的清潔度. OmniGrade 的上市, 擴展了德國 Pfeifffer 殘余氣體分析的產(chǎn)品組合, 提供更高水平的價值創(chuàng)造, 從而增加客戶的利益.
OmniGrade 殘余氣體分析應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體生產(chǎn)中的 EUV 光刻
電子顯微鏡
超高真空 UHV 中的應(yīng)用
OmniGrade 殘余氣體分析系統(tǒng)基于模塊化原理, 可滿足各種測試要求
上海伯東德國 Pfeiffer 根據(jù)每個測試要求提供量身定制的分析系統(tǒng), 滿足客戶所需精度的測試結(jié)果. 殘余分析系統(tǒng)采用全系列的德國 Pfeiffer 產(chǎn)品, 比如四極桿質(zhì)譜儀, 真空泵, 腔室和其他組件.
四極桿質(zhì)譜儀 (PrismaPro 或 HiQuad ) 的選擇和腔室數(shù)量的確定對可實現(xiàn)的檢測限有顯著影響. 在標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)中有兩個腔室, 一個放置測試樣品, 另一個放置光譜儀. 如果需要, 該結(jié)構(gòu)可以補充第三個腔室. 即閘室. 這避免了測量腔室受到環(huán)境污染并顯著減少了表面積. 通過烘烤系統(tǒng), 可以對其進行調(diào)節(jié), 從而進一步提高測量能力.
OmniGrade 殘余氣體分析系統(tǒng)配置
| 三腔室系統(tǒng) | 二腔室系統(tǒng) | |
| 參考圖片 |
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| 分析目的 | 低放氣率小零件的分析 | 中型零件測試 |
| 腔室尺寸 | DN 160/250 | 750 x 750 x 750 mm |
| 測量設(shè)計 | With Load Lock | Without Load Lock |
| 分子泵 | 全磁浮或者復(fù)合軸承 | 全磁浮或者復(fù)合軸承 |
| 質(zhì)譜分析儀 | HiQuador 或PrismaPro | HiQuador 或PrismaPro |
| 密封閘閥 | 金屬 | 金屬或氟橡膠 |
| 校準(zhǔn) | 手動或自動 | |
| 潔凈室兼容 | 可選 | |
| 溫度控制系統(tǒng) | 主動或被動 | |
OmniGrade 殘余氣體分析系統(tǒng)特點
使用模塊化系統(tǒng)根據(jù)您的需求定制執(zhí)行
檢測限低
全自動測量過程
根據(jù) ASML的清潔度等級 GSA 07 1221 和 GSA 07 2221 進行測試
上海伯東累計多年真空經(jīng)驗, 提供各類定制真空系統(tǒng), 例如氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng), 真空計校準(zhǔn)系統(tǒng), 殘余氣體分析系統(tǒng)等, 滿足半導(dǎo)體, 工業(yè), 科研各個領(lǐng)域的需求.
若您需要進一步的了解殘余氣體分析儀詳細信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式：
上海伯東: 羅小姐
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