美國(guó)ALICAT 22S系列雙向型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。22S系列雙向型質(zhì)量流量控制器可通過(guò)定制化的高速比例調(diào)節(jié)閥，正向或反向精確測(cè)量與控制過(guò)程氣體的質(zhì)量流量、體積流量和壓力。采用雙閥門(mén)設(shè)計(jì)模式，一臺(tái)閥門(mén)專門(mén)用于控制進(jìn)氣、另一臺(tái)用于排氣，實(shí)現(xiàn)了僅用一臺(tái)設(shè)備便可同時(shí)控制開(kāi)放式或密閉容器內(nèi)上游、下游端流量，以及正壓、背壓，并可用于腐蝕性介質(zhì)。
產(chǎn)品特點(diǎn) ：
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力
● 可選高精度：優(yōu)于0.5%
● 高量程比 100:1
● 響應(yīng)時(shí)間快 僅需100ms(可調(diào))
● 內(nèi)置128種常規(guī)以及腐蝕性氣體
● 可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體（zui多5種成分），并存儲(chǔ)20種混合氣
● 可適用于諸多腐蝕性氣體
技術(shù)參數(shù) ：
介質(zhì)要求：潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可
介質(zhì)種類：內(nèi)置了128種氣體，請(qǐng)參考背面氣體兼容表一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇
量程：從-0.5SCCM～0.5SCCM 到-5000SLPM～5000SLPM
量程比：100:1
zui大顯示流量：-*FS～*FS
顯示屏：帶按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式：同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-雙向滿量程
高精度：±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備
重復(fù)性：± 0.2% FS
零點(diǎn)漂移&滿量程漂移：0.02% FS / ºC / Atm
響應(yīng)時(shí)間：100ms(可調(diào)) 預(yù)熱時(shí)間：<1s
標(biāo)定工況：25ºC & 100kPa 絕壓、20ºC & 100kPa、絕壓0ºC & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場(chǎng)可切換)
工作溫度：-10 ～ +50 ºC
工作濕度：0-*,無(wú)冷凝
標(biāo)準(zhǔn)zui大工作壓力：1MPa 表壓
標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓：1.2MPa 表壓
中壓選項(xiàng)：2MPa
數(shù)字輸入/輸出信號(hào)：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模擬輸入/輸出信號(hào)：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
可選第二路模擬輸出：質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度
供電電壓：7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)
供電電流：250mA ～ 750mA
電氣接口：8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭
材質(zhì)：316L不銹鋼、303不銹鋼, 430FRSS, FFKM (Kalrez)
可根據(jù)特殊氣體選用Viton, EPDM, Buna, Neoprene
安裝方式：對(duì)位置無(wú)要求 防護(hù)等級(jí)：IP40
* 如選Profibus，則無(wú)模擬信號(hào)，無(wú)顯示，其供電電壓及
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產(chǎn)品選型 ：
應(yīng)用及案例 ：
● 大學(xué)/研究所
● 環(huán)境監(jiān)測(cè)
● 真空行業(yè)及鍍膜
● 工業(yè)爐窯
● 汽車制造
● 計(jì)量
● 過(guò)程工藝氣體測(cè)量
