CSPM3000系列掃描探針顯微鏡(SPM)具有常規(guī)多模式掃描探針顯微鏡的全部功能(原子力顯微鏡/掃描隧道顯微鏡等)，同時可以擴(kuò)展成為掃描電場力、掃描磁力顯微鏡等。

該系列掃描探針顯微鏡(SPM)有以下特點 ：



集成原子力顯微鏡(AFM)、摩擦力顯微鏡(LFM)和掃描隧道顯微鏡(STM)

原子力顯微鏡具有接觸、輕敲、相移成像等多種工作模式

具有I-V曲線和力曲線等測量分析功能

具有圖形刻蝕模式和矢量掃描模式的納米加工技術(shù)

樣品尺寸增大至直徑4.5cm、厚度2.5cm

操作簡便，只需要更換探針架，即可切換于STM和AFM等模式

全數(shù)字控制的參數(shù)設(shè)置和采集

系統(tǒng)狀態(tài)、儀器類型、掃描器和探針架參數(shù)智能識別和控制

數(shù)字控制反饋回路

16-bit分辨的A/D和D/A，多路同步數(shù)據(jù)采集和實時顯示

基于Windows 9X/ME/2000/XP的在線控制軟件和后處理分析軟件

計算機(jī)操作接口全程在線式幫助及智能提示

掃描圖像BMP/TIFF全兼容文件格式，當(dāng)前全部工作環(huán)境參數(shù)同步保存

本底及比例的實時調(diào)整

實時定點測試功能

可連續(xù)采集、存儲和重現(xiàn)動態(tài)過程

方便的鼠標(biāo)控制掃描區(qū)域平移、剪切功能，掃描角度連續(xù)可調(diào)

多種樣品傾斜度實時校正功能

樣品粒度和粗糙度自動分析

按功能模塊劃分的縱向插卡式結(jié)構(gòu)，便于日后系統(tǒng)維護(hù)和升級

可附加第二顯示器和光學(xué)顯微輔助系統(tǒng)

技術(shù)參數(shù)：

分辨率：
掃描隧道顯微鏡(STM)： 橫向 0.13nm 垂直 0.01nm（以石墨定標(biāo)）
原子力顯微鏡(AFM)： 橫向 0.26nm 垂直 0.1nm（以云母定標(biāo)）

樣品尺寸：≤Φ45mm

樣品厚度：≤25mm

掃描范圍：標(biāo)準(zhǔn)配置1μm×1μm；20μm×20μm；高達(dá)100um X 100um的大范圍掃描器（選件）

圖像采樣點：512×512

zui大掃描速率：55000 P/S

進(jìn)樣方式：步進(jìn)馬達(dá)控制自動逼近，行程≤30mm，精度≤83nm

掃描控制：雙16-bit D/A（相當(dāng)于26位精度）

數(shù)據(jù)采樣：雙16-bit A/D （相當(dāng)于23位精度）