SZ-EZ6勻膠機設(shè)計為涂膠處理小碎片至6英寸圓晶尺寸底物，使用工業(yè)級直流馬達和單片機控制，4.3寸全彩觸屏人機界面操作，簡單易用。EZ6勻膠機在材料、化學(xué)或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域。

SZ-EZ6勻膠機設(shè)計為涂膠處理小碎片至6英寸圓晶尺寸底物，使用工業(yè)級直流馬達和單片機控制，4.3寸全彩觸屏人機界面操作，簡單易用。EZ6勻膠機在材料、化學(xué)或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域。
SZ-EZ6勻膠機設(shè)計標準為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，程控操作，且能夠升級自動點膠功能，尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內(nèi)進出，具有優(yōu)異的性價比。亦可提供分體式設(shè)計，進行嵌入式安裝，與手套箱進行配合。

該款產(chǎn)品已在老款型號上進行了升級，外型進行了變化，大轉(zhuǎn)速及加速度得到了提高，真空腔進一步改善從而不易堵膠。

產(chǎn)品特性優(yōu)點：

4.3”全彩觸摸屏，簡單易用

系統(tǒng)中英文界面可轉(zhuǎn)換

100W 直流無刷電機，單片機控制

帶一只自動點膠端口，可升級自動點膠功能

HDPE 內(nèi)腔，SUS 外殼，耐溶劑PC 透明蓋

真空互鎖及蓋子開關(guān)互鎖安全功能

防堵膠功能設(shè)計(雙真空腔設(shè)計)

產(chǎn)品性能參數(shù)：

支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圓晶）

速度可調(diào)范圍：100-12000rpm

加速度可調(diào)范圍：100-30000rpm/s

大單步旋涂時間：3000s

時間分辨率：0.1s

轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm

可編程10組10步程序

寬電壓輸入：AC100-230V，中英文界面可選

尺寸：358mm(D)*256mm(W)*258mm(H)