概要
*的壓力不敏感型高性能質(zhì)量流量控制器: D500
高穩(wěn)定性質(zhì)量流量模塊——氣體流量控制不受上游和下游壓力波動差影響、PI（壓力不敏感型）質(zhì)量流量模塊
HORIBA壓力不敏感型高性能質(zhì)量流量控制器

HORIBA壓力不敏感型高性能質(zhì)量流量控制器

特征

• 壓力不敏感性

高性能的壓力不敏感型功能可有效簡化氣體供應系統(tǒng)

• 多量程,多氣體,多種壓力的解決方案

新功能允許用戶改變氣體種類、滿量程內(nèi)的流量,供應壓力范圍

• G-LIFE 自我檢測功能(氣體定律檢查集流節(jié)流方程)

*G-Life功能允許操作人員進行流量計自我監(jiān)測,通常會在三秒內(nèi)提高生產(chǎn)能力

• 高精度

*的三維調(diào)節(jié)已改進工藝氣體的流量精度

• 快速響應

響應速度＜0.8秒
已實現(xiàn)精準且穩(wěn)定的流量控制

• 動態(tài)范圍

控制范圍：0.2% F.S. ~ * F.S.

制造: HORIBA STEC