Cressington 108/108Auto離子濺射儀是用于電鏡樣品前處理，制作*高質(zhì)量的鍍膜儀系統(tǒng)
離子濺射儀主要優(yōu)勢(shì)功能：
自動(dòng)的換氣與泄氣功能，可以得到*的膜厚，和良好的導(dǎo)電噴鍍效果。
通過(guò)高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過(guò)程，避免樣品表面受損。
操作容易快捷，可全自動(dòng)或手動(dòng)進(jìn)行噴鍍操作，控制的參數(shù)包括自動(dòng)放氣以及氬氣換氣控制。
在自動(dòng)模式下，可通過(guò)兩種方式進(jìn)行控制鍍膜過(guò)程。可通過(guò)數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果。
可配備MTM-10高分辨膜厚監(jiān)控儀（選件）(分辨率優(yōu)于0.1nm，-99.9nm到+999.9nm)
數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響，可得到*的鍍膜速率和很好的的鍍膜效果。
可使用多種金屬靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd，靶材更換快速方便。
離子濺射儀技術(shù)規(guī)格：
樣品倉(cāng)尺寸： 120 x 120mm（高） (4.75 x 4.75")，高強(qiáng)度硼硅酸鹽玻璃
樣品臺(tái)：直徑63mm,可放置12個(gè)標(biāo)準(zhǔn)SEM樣品座，高度可在 60mm內(nèi)調(diào)節(jié)
濺鍍優(yōu)點(diǎn)：基于微處理器反饋控制，遠(yuǎn)程電流/電壓感應(yīng)；提供真空安全聯(lián)鎖裝置，大180A，配有過(guò)流保護(hù)
濺射控制：微處理器控制，安全互鎖，可調(diào)，大電流40mA，程序化數(shù)字控制
濺射頭：低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩
模擬計(jì)量：真空 Atm - 0.01mb 電流: 0 - 200A
厚度監(jiān)測(cè)器： MTM-10高精度厚度監(jiān)測(cè)器(選配)
控制方式：自動(dòng)氣體換氣和泄氣功能，自動(dòng)處理排序，帶有“暫停”控制的數(shù)字定時(shí)器（0－300s），自動(dòng)放氣
電源：200-240 VAC, 50/60Hz
功率：1000VA (包括鍍碳機(jī)和真空系統(tǒng))
氬氣： 純度優(yōu)于99.9%，壓力調(diào)節(jié)0.5-0.6 bar, 6mm連接軟管
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