芯片式TEM原位電化學(xué)系統(tǒng)是由蘇州原位芯片科技有限責(zé)任公司原位系統(tǒng)事業(yè)部團(tuán)隊(duì)傾力打造而成。芯片式電學(xué)采用的是*的芯片接觸式原位電化學(xué)解決方案。該解決方案使用的是世界*的芯片自對(duì)準(zhǔn)技術(shù)，免去傳統(tǒng)電化學(xué)芯片的引線(xiàn)鍵合步驟。國(guó)內(nèi)*的LPCVD氮化硅薄膜技術(shù)能夠*的保證TEM原有的分辨率。

概述：     

芯片式TEM原位電化學(xué)系統(tǒng)是由蘇州原位芯片科技有限責(zé)任公司原位系統(tǒng)事業(yè)部團(tuán)隊(duì)傾力打造而成。芯片式電學(xué)采用的是*的芯片接觸式原位電化學(xué)解決方案。該解決方案使用的是世界*的芯片自對(duì)準(zhǔn)技術(shù)，免去傳統(tǒng)電化學(xué)芯片的引線(xiàn)鍵合步驟。國(guó)內(nèi)*的LPCVD氮化硅薄膜技術(shù)能夠*的保證TEM原有的分辨率。

      系統(tǒng)主體分為六部分：原位電化學(xué)測(cè)試芯片、樣品桿及附件、液體加注設(shè)備、真空驗(yàn)證系統(tǒng)、電表（Keithley2400）以及控制電腦。

      電化學(xué)芯片分上下兩部分。用戶(hù)使用時(shí)先在手套箱中將樣品安置在電極處，接著使用公司自主研發(fā)的自對(duì)準(zhǔn)技術(shù)將上下芯片組合，然后使用環(huán)氧樹(shù)脂將四周接縫封上。將測(cè)試液體通過(guò)一側(cè)小孔注入到芯片內(nèi)，液體會(huì)在毛細(xì)作用的引導(dǎo)下橫跨整個(gè)芯片觀測(cè)區(qū)。后將液體注入孔用環(huán)氧樹(shù)脂封上，即可形成密閉的腔體。配合我們的芯片式電學(xué)測(cè)試系統(tǒng)，可以為樣品施加電壓或者電流。

規(guī)格參數(shù)：

• 電極數(shù)：4.

• 電極接觸方式：芯片直接接觸式.

• 兼容電鏡：FEI, JEOL.

• 電壓：±200 V.

• 電壓精度：100 nV.

• 電流：1 A.

• 電流精度：1 pA.

• 傾角：±40°.

• 測(cè)試模式：恒流模式，恒壓模式，單點(diǎn)掃描，多點(diǎn)掃描，脈沖模式

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