HybridHexapod®由ALIO Industries研發(fā)，旨在解決常規(guī)六軸位移臺固有的性能限制問題。ALIO獲得的混聯(lián)六自由度精密位移系統(tǒng)（6-DOF）完美的結合了串聯(lián)和并聯(lián)運動結構的優(yōu)點，又在同時回避了它們的缺點?；炻?lián)六自由度精密位移系統(tǒng)提供了比任何傳統(tǒng)六軸位移臺或堆疊平臺更多的功能、納米級精度、可重復性和的六軸運動軌跡。*的設計包括平行的運動三腳架，它可以控制Z平面的位移和傾斜運動。該三腳架與用于XY平面運動的整體式串聯(lián)運動平臺集成在一起。集成在三腳架頂部（或下方，取決于應用需求）的轉臺提供360度連續(xù)偏航（θ-Z）旋轉。混聯(lián)位移系統(tǒng)可以單獨定制每一個軸，提供了從毫米到近乎沒有限制范圍的XY行程，并在同時保持納米級的精度。新型正向和反向控制器運動學讓用戶可以無限數(shù)量的編程“工具中心點”位置。HH-30D的±30度傾斜行程是六自由度定位系統(tǒng)可提供的大角度行程范圍，同時也具備ALIO的全系Hybrid Hexapod產品相同的高精度定位性能。

特點

高精度交叉滾柱導軌

直接讀取增量或使用編碼器控制所有承軸

線性壓電電機和/或滾珠絲桿驅動器

無限制編輯工具中心點位置和坐標位移

所有承軸零間隙

主要參數(shù)

XY軸行程60mm和100mm，大450mm（無限制XY行程）

Z軸行程62mm（其他同類產品大208mm）

Tip/Tilt 行程 ±30 Deg, 連續(xù)可調 360 Deg Theta-Z

XYZ 雙向重復性小于 ±100nm

角度雙向重復性小于 ±0.6 arc-sec

XY軸位移速度高達100mm/s，Z軸位移速度高達20mm/s Z (大于線性電機版)

線性不穩(wěn)定性小于20nm，角不穩(wěn)定性小于0.1 arc-sec

應用

非球面和自由光光學檢測

封裝與探測硅光子

激光微加工（非平面基板和錐度控制）

晶圓測量

相機模塊的對準與裝配

傳感器/圖像穩(wěn)定性測試

光學元件的光纖耦合