變溫范圍大，溫度穩(wěn)定性好，可用于不同溫度范圍內(nèi)的材料測試。

M5VC真空探針臺可實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境下的高溫及低溫電學(xué)性能測量，真空腔一體成型，具有設(shè)計合理，真空度穩(wěn)定，溫控精度及機(jī)械精度高等特點(diǎn)；根據(jù)測試溫度范圍不同，可單選高溫或低溫等相應(yīng)組件，溫度可達(dá)到1000℃，低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件，溫度可低至77K/10K，；真空系統(tǒng)可選機(jī)械泵或分子泵系統(tǒng)，真空度可達(dá)到10^-3Torr或10^-6Tor。

應(yīng)用

可應(yīng)用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測樣品的電學(xué)性能測試分析，如：半導(dǎo)體/微電子，電子，機(jī)電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機(jī)電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設(shè)計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù)

顯微鏡配置 顯微鏡/視頻顯微鏡

顯微鏡 放大倍數(shù)50倍

視頻成像配置 CCD成像系統(tǒng)，放大倍數(shù)300倍

樣品臺尺寸80mm 漏電電流<10fA

真空室真空度 10-3Torr (10-6Torr或更高可選)

探針座配置 x/y/z行程40mm 精度 1μm

探針配置 尺寸 0.5X30mm 材質(zhì) 金

溫度范圍 77K-570K 液氮制冷 10K-570K 液氦制冷 溫度可到1000K

觀察窗尺寸 100mm

真空系統(tǒng) 機(jī)械泵或分子泵

接口配置 三同軸

測試源表 連接各類測試源表，并可進(jìn)行相應(yīng)的軟件二次開發(fā)，加大系統(tǒng)整合性及測試穩(wěn)定性，支持RF測試