Leica EM TIC 3X 三離子束切割儀 2018/06/20 　　Leica EM TIC 3X通過離子槍激發(fā)獲得的離子束，以垂直于樣品側(cè)面縱向轟擊樣品，可獲得高質(zhì)量無應(yīng)力“切割”截面，便于SEM觀察。該處理方法適用于多層膜材料、軟硬復(fù)合材料等高難度制備樣品，并且操作簡單，可有效避免涂抹效應(yīng)，不需要大量摸索條件即可獲得理想的截面，使樣品暴露內(nèi)部細(xì)微結(jié)構(gòu)信息。特點　　? 可容納樣品尺寸50×50×10mm，可獲得有效切割截面面積＞4mm×1mm　　? 三把離子槍，離子束能量1keV-10keV，切割速率150μm/h (Si@10kV, 50μm切割高度)　　? 離子束處理過程中樣品位置固定，無需偏轉(zhuǎn)運動，無投影效應(yīng)，熱傳導(dǎo)性好　　? 可進行離子束切割或刻蝕，可選擇任意離子槍　　? 真空泵解耦合設(shè)計，無震動傳導(dǎo)　　? 觸摸屏操作面板，直觀、簡易操作，可編程可軟件升級　　? 可選配：液氮制冷冷臺-150°至30°，25L液氮罐及自動泵，具有自動快速制冷功能　　? 可選配：三樣品臺，可......

　　Leica EM TIC 3X通過離子槍激發(fā)獲得的離子束，以垂直于樣品側(cè)面縱向轟擊樣品，可獲得高質(zhì)量無應(yīng)力“切割”截面，便于SEM觀察。該處理方法適用于多層膜材料、軟硬復(fù)合材料等高難度制備樣品，并且操作簡單，可有效避免涂抹效應(yīng)，不需要大量摸索條件即可獲得理想的截面，使樣品暴露內(nèi)部細(xì)微結(jié)構(gòu)信息。

特點

　　? 可容納樣品尺寸50×50×10mm，可獲得有效切割截面面積＞4mm×1mm

　　? 三把離子槍，離子束能量1keV-10keV，切割速率150μm/h (Si@10kV, 50μm切割高度)

　　? 離子束處理過程中樣品位置固定，無需偏轉(zhuǎn)運動，無投影效應(yīng)，熱傳導(dǎo)性好

　　? 可進行離子束切割或刻蝕，可選擇任意離子槍

　　? 真空泵解耦合設(shè)計，無震動傳導(dǎo)

　　? 觸摸屏操作面板，直觀、簡易操作，可編程可軟件升級

　　? 可選配：液氮制冷冷臺-150°至30°，25L液氮罐及自動泵，具有自動快速制冷功能

　　? 可選配：三樣品臺，可一次連續(xù)處理三個樣品

　　? 可選配：旋轉(zhuǎn)樣品臺，用于對樣品進行離子束拋光