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脈沖激光沉積分子束外延系統(tǒng)

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  • 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 所在地 國外
  • 廠商性質(zhì)
  • 更新時(shí)間 2020/11/24 11:20:22
  • 訪問次數(shù) 682

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脈沖激光沉積分子束外延系統(tǒng):分子束外延系統(tǒng)(MBE) GaAs、InP和GaSb外延 HgCdTe外延 GaN、InN和AlN外延 Ⅱ-Ⅵ族外延 SiGe外延 Si/金屬/氧化物外延

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       脈沖激光沉積分子束外延系統(tǒng)
 

  優(yōu)異的性能,PVD公司生產(chǎn)的在國內(nèi)有較多用戶,為眾多老師開啟薄膜外延制備的新篇章。
 

  主腔室,樣品傳輸腔,1100度加熱系統(tǒng),樣品旋轉(zhuǎn),PLD靶材操控器及光路,K-cell熱蒸發(fā)源,電子束蒸發(fā)源,射頻RF離子源 PVD公司是美國主要制造商,是一家專業(yè)從事脈沖激光沉積分子束外延(PLD MBE)和超高真空薄膜沉積系統(tǒng)及組件的設(shè)計(jì)和制造的公司,提供超高真空薄膜沉積系統(tǒng),應(yīng)用于分子束外延、UHV濺射和脈沖激光沉積。產(chǎn)品主要集中在小型研究開發(fā)系統(tǒng),其應(yīng)用主要包括: 用分子束外延進(jìn)行半導(dǎo)體材料、ZnO、GaN、SiGe和金屬/氧化物外延生長; UHV磁控濺射磁性薄膜; 脈沖激光沉積超導(dǎo)薄膜、氧化物和陶瓷材料。 應(yīng)用主要包括:
 

  脈沖激光沉積分子束外延系統(tǒng)
 

  分子束外延系統(tǒng)(MBE) GaAs、InP和GaSb外延 HgCdTe外延 GaN、InN和AlN外延 Ⅱ-Ⅵ族外延 SiGe外延 Si/金屬/氧化物外延
 

  超高真空物理氣相沉積(PVD)系統(tǒng) 磁控濺射系統(tǒng) 脈沖激光沉積(PLD)系統(tǒng) 電子束蒸發(fā)系統(tǒng) 離子束沉積系統(tǒng) 熱蒸發(fā)系統(tǒng)
 

  已經(jīng)在范圍內(nèi)安裝了超過100套的超高真空系統(tǒng)。絕大部分的產(chǎn)品都是針對(duì)用戶定制設(shè)計(jì)復(fù)雜的沉積系統(tǒng)。在標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)制造業(yè)中有著深厚的為用戶定制設(shè)計(jì)的背景,在用戶中具有很好的聲譽(yù)。許多的標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)初都是起源于針對(duì)某些客戶對(duì)沉積過程特殊需求的解決方案,與廣大的中國用戶開展更為廣泛的交流與合作,為廣大的中國用戶提供優(yōu)質(zhì)PLD MBE和超高真空薄膜沉積系統(tǒng)制造商的產(chǎn)品和服務(wù)。


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