TMC Electro-Damp® II主動空氣消振--光學(xué)平臺
Electro-Damp®是di一款專門用于提高半導(dǎo)體制造應(yīng)用中的吞吐量、分辨率和產(chǎn)量的商用主動隔振系統(tǒng)。Electro-Damp II是對原始系統(tǒng)的wan全重新設(shè)計(jì)，增加了模塊化、數(shù)字控制、前饋、高力/高間隙執(zhí)行器以及多個專門設(shè)計(jì)用于OEM應(yīng)用（如顯微光刻、檢測和計(jì)量工具）的數(shù)字用戶界面。
半導(dǎo)體制造工具對其隔振系統(tǒng)提出了相互矛盾的要求。為了應(yīng)對地面噪音，系統(tǒng)必須足夠柔軟，以有效地過濾地面振動，阻止其到達(dá)隔振表面。同時，系統(tǒng)必須足夠堅(jiān)硬，以應(yīng)對工作臺的力，以便工作臺運(yùn)動使隔振表面產(chǎn)生最小位移并能快速穩(wěn)定。
除了采用慣性、主動反饋?zhàn)枘嶂?，Electro-Damp II還使用信息前饋來進(jìn)一步改善系統(tǒng)響應(yīng)。前饋從工作臺控制器獲取關(guān)于工作臺位置和加速度的信息，然后處理這些數(shù)據(jù)，以向有效載荷提供力驅(qū)動，從而大大減少了由工作臺引起的有效載荷運(yùn)動。系統(tǒng)可以以數(shù)字方式讀取前饋信息，作為雙極性模擬信號，或通過讀取正交編碼器的輸出。DC-2000數(shù)字控制器還可以使用工作臺測試模式自動調(diào)整前饋所需的參數(shù)。這使得在初始安裝時或在更改有效載荷之后能夠快速簡便地進(jìn)行設(shè)置。
Electro-Damp II的模塊化設(shè)計(jì)允許系統(tǒng)單獨(dú)與電子伺服閥一起使用（適用于重型、低加速度應(yīng)用，如CMM）、只與電磁驅(qū)動一起使用（適用于使用高加速度的較輕工作臺）或與兩者結(jié)合使用（適用于zui苛刻的應(yīng)用）。
特點(diǎn)
l 六自由度主動減振系統(tǒng)
l 非接觸式電子高度控制
l 數(shù)字控制器
l 前饋輸入校正由工作臺引起的有效載荷運(yùn)動
l 高力電磁執(zhí)行器可單獨(dú)提供或被集成在系統(tǒng)中
l 減少有效載荷運(yùn)動和由工作臺引起的運(yùn)動的穩(wěn)定時間
l 提高吞吐量、分辨率和產(chǎn)量
l 模塊化設(shè)計(jì)允許用戶*一個完整的單元或組件，以便OEM集成
l 自動調(diào)整前饋參數(shù)以減少設(shè)置
TMC Electro-Damp® II主動空氣消振--光學(xué)平臺
規(guī)格
通用 |
穩(wěn)定時間 | 0.2秒** |
主動自由度 | 6 |
高度控制精度 | < 10 µm at sensorsd> |
線性執(zhí)行器（水平和垂直） |
直流電阻 | 5 Ω |
力常數(shù) | 高達(dá)12磅/安 | 55牛/安 |
da連續(xù)力 | 25磅| 110牛 |
峰值力@ 7 A | 87磅| 385牛 |
電氣時間常數(shù) | 2.6毫秒 |
行程 | 0.25英寸 | 6.4毫米 |
橫向間隙 | 0.09英寸 | 2.3毫米 |
雜散場 | < 1 G @ 2 in.d> |
尺寸（寬 x 深 x 高） | 2.8 x 6.8 x 4.5英寸
71 x 173 x 114 mm |
閥門（僅xian主動） |
閥門類型 | 比例E/V伺服 |
控制類型 | 壓力或氣流 |
da流量 | 1.5 SCFM |
耗氣量（4個隔振器） | < 2 SCFM (no stage motion)d> |
- 3 dB響應(yīng) | ≤10 Hz（典型值）。 |
高度控制傳感器 |
輸入 | 非接觸式感應(yīng)（渦流） |
電子配置 | 雙線式NAMUR
三線30或18毫米直徑 |
范圍 | 標(biāo)稱15毫米，用于30毫米電線
標(biāo)稱6毫米，用于18毫米電線 |
分辨率 | < 1 µmd> |
被動氣動安裝座 |
標(biāo)準(zhǔn)承重能力 | 1,000、2,500、3,300、5,700磅@ 80 PSI |
阻尼（10:1） | < 3 sd> |
DC-2020數(shù)字控制器 |
處理器 | 雙核：
DSP @ 150 MHz & Cortex M3 @ 75 MHz |
模擬I/O | 32/24通道（16/16位） |
采樣率 | 標(biāo)稱值為5 kHz |
前面板 | 電源開關(guān)
3色狀態(tài)指示燈
以太網(wǎng)RJ-45
MicroSD卡插槽
2個BNC插座（每個都可以作為輸入端或輸出端）
2個USB 2.0端口（B型和Micro B型）
FW升級按鈕 |
后面板 | 電源輸入
模擬I/O插座
氣動端口
以太網(wǎng)RJ-45
1個USB 2.0
RS-232 DB 9
繼電器插座 |
用戶界面 | 通過USB或以太網(wǎng)的GUI |
電源 | 90-240 VAC，50-60 Hz，da 100 W |
尺寸（寬 x 深 x 高） | 16.8 x 9.0 x 1.75英寸
427 x 229 x 45 mm
1個標(biāo)準(zhǔn)RETMA單元 |
功率放大器 |
通道 | 8 |
每個通道的da電流 | 7 A |
輸入 | 線性 |
峰值功率 | 總共700瓦 |
冷卻 | 環(huán)境，強(qiáng)制通風(fēng) |
保護(hù) | 可復(fù)位保險(xiǎn)絲、電子熱保護(hù)、過流、欠壓 |
操作 | 遙控或手動 |
尺寸 | 1 RETMA機(jī)架單元高度 x 15英寸（381毫米）深 |
*規(guī)格可能因配置而異。
**根據(jù)前饋控制和MaxDamp隔振器的擾動振幅降低10倍來確定穩(wěn)定時間。實(shí)際的“振鈴”不受前饋技術(shù)的影響。
