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RFS100 射頻傳感器

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功能

  • CVD 應(yīng)用

       - 晶片計(jì)量建模（薄膜應(yīng)力、薄膜厚度）

       - 對(duì)過(guò)程腔室提供的真正功率進(jìn)行有功功率控制

       - FDC（例如等離子體不穩(wěn)定性、充電）

       - 腔室匹配（射頻指紋）

  • PVD 應(yīng)用

    - 晶片計(jì)量建模（電阻率）

    - FDC

    - 腔室匹配（射頻指紋）

  • 蝕刻應(yīng)用

       - 晶片計(jì)量建模（蝕刻速率）

       - 對(duì)過(guò)程腔室提供的真正功率進(jìn)行有功功率控制

       - FDC

       - 腔室匹配（射頻指紋）

手冊(cè)

  • Brochure - RFS100.pdf |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|


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