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SQC-310 薄膜沉積控制器

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具體成交價以合同協(xié)議為準

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詳細信息 在線詢價

功能

  • 明亮的彩色 LCD 顯示屏 - 提供英文或中文版本
  • 標準 RS-232 和 USB（可選 RS-232 和以太網(wǎng)）
  • 設(shè)有 “Quick Setup”（快速設(shè)定）菜單、6 個區(qū)分上下文按鈕以及一個簡便的參數(shù)設(shè)定旋鈕，易于設(shè)定和操作
  • 用于開發(fā)、測試和下載過程的 Windows®程序，以及用于將儀器數(shù)據(jù)記錄到 PC 進行過程分析與質(zhì)量控制的 Windows 程序
  • 精確的過程控制，尤其適用于低沉積速率，測量速率為每秒 10 個讀數(shù)，測量分辨率為 ±0.03 Hz
  • 存儲容量可達 100 個過程、1000 層薄膜、50 種薄膜材料
  • 使用單傳感器或多傳感器監(jiān)控源材料，提供精確的源分布監(jiān)控

規(guī)格

類型 SQC-310 SQC-310C
測量    
QCM 輸入 2 (4 optional) 4
測量頻率范圍 Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
 		Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
頻率分辨率 (1) ± 0.012 Hz ± 0.012 Hz
厚度和速率分辨率/測量 (2) ±0.015 ? ±0.015 ?
頻率穩(wěn)定性 ± 2 ppm total, 0 to 50C ± 2 ppm total, 0 to 50C
測量周期 0.10 to 1.0 s (adjustable) 0.10 to 1.0 s (adjustable)
速率顯示 0.01 ?/sec 0.01 ?/sec
控制    
存儲 100 processes, 1000 layers, 50 films 100 processes, 1000 layers, 50 films
控制輸出 2 (4 optional) 4
輸出信號 ± 0 to 10 VDC, 15 bits ± 0 to 10 VDC, 15 bits
數(shù)字輸入/繼電器 8/8 (16/16 optional) 16/16
數(shù)字輸入 5 VDC non-isolated 5 VDC non-isolated
繼電器 SPST Form 1A, 30V, 2A max SPST Form 1A, 30V, 2A max
接口 Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional) Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
遠程電源控制 Optional (IPN 782-900-017) Optional (IPN 782-900-017)
顯示器    
類型 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
圖表 Rate, deviation, power or full screen numeric Rate, deviation, power or full screen numeric
一般    
功率 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25 W
合規(guī)性 CE, RoHS CE, RoHS
Windows® 軟件 Included Included
殼體/安裝 5 1/4” half-rack 5 1/4” half-rack
(1) 0.25 秒測量間隔的分辨率
(2) 工具/密度 = 100/1，基礎(chǔ)頻率 = 6 赫茲，0.25 秒測量間隔

SQC-310-C_OrderChart_2013_web-01.png

附件

名稱 說明
前裝式單傳感器
前裝式雙傳感器
炫酷抽屜單傳感器
炫酷抽屜雙傳感器
薄型雙傳感器
UHV 可烘烤傳感器
濺射傳感器
CrystalSix® 傳感器
Crystal 12® 傳感器
Easy Rate Single Sensor
RSH-600 旋轉(zhuǎn)式傳感器
零件號 明細
782-900-017 手持功率控制裝置，10 ft. (3 m) 卷線
782-900-007 全高機箱擴展器 – 將一臺 SQC-310 或 Composer Elite 安裝到 19 in. 機架（包括封板）
782-900-016 機架適配器 – 將兩臺 SQC-310 儀器安裝到 19 in. 機架
782-502-097-G1 以太網(wǎng)擴展卡
782-502-096-G2 USB 擴展卡
Oscillator kits （包括振蕩器和電纜）
783-500-109-10 3 米（10 英尺）振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 電纜和 3 米（10 英尺）BNC 電纜
783-500-109-25 7.6 米（25 英尺）振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 電纜和 7.6 米（25 英尺）BNC 電纜
783-500-109-50 15.2 米（50 英尺）振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 電纜和 15.2 米（50 英尺）BNC 電纜
783-500-109-75 22.8 米（75 英尺）振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 電纜和 22.8 米（75 英尺）BNC 電纜
Oscillator Only （未隨附電纜）
783-500-013 僅 OSC-100 振蕩器（無電纜）
Cables
782-902-011 15.2 厘米（6 英寸）BNC 電纜，公型/母型
782-902-012-10 3 米（10 英尺）BNC 電纜，公型/公型
782-902-012-25 7.6 米（25 英尺）BNC 電纜，公型/公型
782-902-012-50 15.2 米（50 英尺）BNC 電纜，公型/公型
782-902-012-75 22.8 米（75 英尺）BNC 電纜，公型/公型

耗材

名稱 說明
石英監(jiān)控器晶體

手冊

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