特長

1. 新的9000系列的串接式平臺，其模組腔室設(shè)計，可以提供制程使用的彈性以及未來的擴(kuò)充性。
2. 有助于順利過渡到未來450mm晶圓用設(shè)備的平臺和用戶界面標(biāo)準(zhǔn)化整合。
3. 9000系列平臺采用了日立成熟的微波ECR（Electron Cyclotron Resonance）等離子體蝕刻腔室，已經(jīng)過大批量生產(chǎn)的考驗。

規(guī)格

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部分規(guī)格會與照片不一樣。