• 測量范圍為X150mm / Y150mm / Z100mm（可根據(jù)規(guī)格擴大）
• 使用3軸執(zhí)行器機器人，可以實現(xiàn)10 um的控制分辨率和20 um或更小的位置再現(xiàn)性的高精度控制。
• 由于各軸的傳感器使用3軸孔探頭自動校正同一坐標點處的磁場測量值，因此可以根據(jù)理論獲得結(jié)果值。
• 探針和工件之間的間隙調(diào)整是自動進行的，可實現(xiàn)50 um或更小的重現(xiàn)性。操作員沒有間隙調(diào)整錯誤。
• 孔探針的內(nèi)部芯片的檢測位置調(diào)整是自動的，并且可獲得50um或更小的重現(xiàn)性。
• 控制程序大量使用GUI，無需手冊即可直觀地進行操作。
• 數(shù)據(jù)可視化應用程序（3D Magnetic Viewer）使創(chuàng)建報告變得容易。
  （由于僅出售可視化軟件（3D Magnetic Viewer），因此可以將其用于其他PC上的數(shù)據(jù)處理和演示。）

控制應用

數(shù)據(jù)可視化應用