產(chǎn)品型號(hào)

HVS-03G高真空系統(tǒng)

主要特點(diǎn)

HVS-03G分子泵機(jī)組是一臺(tái)清潔的高真空獲得設(shè)備。此設(shè)備是根據(jù)真空知識(shí)原理，利用機(jī)械泵、渦輪分子泵組合成真空獲得系統(tǒng)，具有啟動(dòng)時(shí)間快、真空度高、操作方便等特點(diǎn)。廣泛應(yīng)用與表面分析、加速器技術(shù)、等離子體技術(shù)、電真空器件制造及真空的各個(gè)領(lǐng)域。設(shè)備的具體組成主要包括真空測(cè)量系統(tǒng)、真空室、閥門及真空管路、電器控制系統(tǒng)等。

技術(shù)參數(shù)

1、分子泵機(jī)組極限真空度（空載）：≤9×10-5Pa

2、真空系統(tǒng)漏率：≤5×10-9PaM3/s

3、電源：220v±10/50Hz

4、電源插頭：16A

5、冷卻方式：水冷或風(fēng)冷（環(huán)境溫度5-40℃）

6、平臺(tái)承重：≤100kg

7、真空規(guī)參數(shù)：ZDF-11A2

測(cè)量范圍：1.0×10 5 ～1×10 -5Pa

配接規(guī)管：ZJ-52T一只，ZJ-27一只

注意事項(xiàng)

1、拆開(kāi)包裝箱，將設(shè)備從箱體中取出，檢查設(shè)備有無(wú)損壞，將設(shè)備的電源線接好，檢查地線與設(shè)備是否接好。

2、在接入供電電源時(shí)，務(wù)必要確認(rèn)是否和設(shè)備要求的電源電壓相符。

設(shè)備安裝應(yīng)在平地上，豎直方向上與垂直方向上與垂直方向夾角小于5°。安裝后要固定腳輪。

3、機(jī)械泵的排氣口必須順暢，不得在封堵排氣口情況下啟動(dòng)泵。

4、機(jī)械泵在運(yùn)轉(zhuǎn)前檢查油位，不要在泵沒(méi)有加油或缺油的情況下使用否則會(huì)造成泵的失效。

5、觀察機(jī)械泵油顏色，正常泵油是清潔和透明的；若泵油顏色變暗火渾濁時(shí)需要換油。切勿在泵溫較高的情況下?lián)Q油，必須等泵冷卻到低于50℃的溫度時(shí)方可換油。

6、分子泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),請(qǐng)盡量避免在泵體及控制器附近施加比較大的或是頻繁的震動(dòng),避免沖擊鉆作業(yè)和任何會(huì)產(chǎn)生較大磁場(chǎng)的作業(yè)。

7、啟動(dòng)分子泵前，系統(tǒng)壓強(qiáng)≤100 Pa。