FemtoLAB飛秒激光微加工系統(tǒng)適用于科研機(jī)構(gòu)進(jìn)行飛秒激光微加工實(shí)驗(yàn)。配置納米精度和分辨率的線性位移臺(tái)，高性能掃描振鏡，通用微加工軟件SCA，是一套光學(xué)平臺(tái)上的完整激光實(shí)驗(yàn)室。

WOP公司實(shí)驗(yàn)室級(jí)激光微加工系統(tǒng)也可以根據(jù)客戶的應(yīng)用定制。WOP具有很強(qiáng)的技術(shù)能力和應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，通過(guò)優(yōu)化FemtoLAB系統(tǒng)，為客戶節(jié)省寶貴的實(shí)驗(yàn)和培訓(xùn)時(shí)間。

可調(diào)參數(shù)：

· 脈寬（<200fs-10ps）

· 重頻（1-1000KHz）

· 平均功率（12W）

· 波長(zhǎng)（1030nm，515nm，343nm，258nm）

產(chǎn)品特點(diǎn)：

· 高速精細(xì)微加工

· 工業(yè)級(jí)飛秒激光器PHAROS

· 加工不同物體精度亞微米量級(jí)

· 飛秒微加工模式具有小熱影響區(qū)

· 物體定位達(dá)納米精度

· 使用掃描振鏡高精度激光束導(dǎo)向

· 激光參數(shù)方便改變

· 原版軟件界面控制所有集成的硬件設(shè)備

軟件控制功能：

· XYZ位移臺(tái)

· 旋轉(zhuǎn)軸

· 掃描振鏡

· 激光參數(shù)

· 機(jī)器視覺(jué)

· 工作區(qū)域平均功率（反饋）

· 偏振

加工便利性：

· 使用顯微鏡轉(zhuǎn)臺(tái)切換波長(zhǎng)

· 使用顯微鏡轉(zhuǎn)臺(tái)改變光學(xué)部件聚焦

· 使用共焦自動(dòng)聚焦系統(tǒng)確定焦點(diǎn)

· CCD相機(jī)視場(chǎng)自動(dòng)校正

· CCD自動(dòng)聚焦到樣品表面

· 自動(dòng)判斷樣品傾斜

· 加工過(guò)程拍照和錄像

· 加工軌跡和CCD視場(chǎng)重合

· 實(shí)時(shí)加工追蹤

· 鍵盤式操縱桿

全部配置包括：

· 飛秒激光器PHAROS

· SHG，THG，FHG和光束傳輸系統(tǒng)

· SHG用于振蕩器輸出

· XYZ位移臺(tái)系統(tǒng)

· 掃描振鏡系統(tǒng)

· 4個(gè)衰減器用于WAIT PILOT

· 4個(gè)偏振旋轉(zhuǎn)器

· 自動(dòng)聚焦和機(jī)器視覺(jué)單元

· SLM或其他光束整形器

· 轉(zhuǎn)臺(tái)用于調(diào)整諧波鏡和聚焦光學(xué)部件

· 系統(tǒng)可以組裝在已有的光學(xué)平臺(tái)上，區(qū)域1m×2.5m。

應(yīng)用舉例：

光纖鉆孔