F值范圍

可檢測幾乎任何的F值

可檢測的光學(xué)元件直徑（平行光）

幾乎任何直徑的光學(xué)元件（選用合適配件）

測試設(shè)置

雙或單通道

標(biāo)準(zhǔn)透鏡陣列的直徑和焦距

(0.2mm, 11mm), (0.2mm, 22mm), (0.3mm, 41mm). Others: (0.13mm, 7mm). Special

相機接口

千兆以太網(wǎng)，USB2，USB3

分辨率（0.2mm直徑透鏡陣列和USB3相機），9mm入瞳直徑

45x45（0.2mm直徑陣列）；69x69（0.13直徑陣列）

分辨率（千兆相機透鏡陣列），15mm入瞳直徑

75x75（0.2mm直徑陣列）；115x115（0.13直徑陣列）

非球面元件測量

測量縱向球面像差15%的變化

澤尼克多項式計算RMS重復(fù)性

1-2nm rms(λ/600-λ/300)at 633nm

波前測量RMS重復(fù)性

<λ/200

準(zhǔn)確度

λ/10-λ/100（取決于校準(zhǔn)元件的準(zhǔn)確度）

子瞳動態(tài)測量范圍

±50 λ

波長范圍

UV(0.193-1.1μ),Vis(0.193-1.1μ), 0.95-1.7μ

光源

LEDS，LDS,鹵素?zé)?/span>

軟件（控制和分析）

Sensoft

采樣頻率

15-500Hz（相機決定）

處理頻率

5-150Hz(相機和電腦決定）

準(zhǔn)直器步進電機供電需求

12V/2A DC

觸發(fā)

TTL 5V