兩個爐體在一個滑軌上面，和通過對爐體的滑動達到對樣品快速加熱和快速冷卻的效果

連續(xù)工作溫度∶1100℃

兩個爐體都可以設(shè)置30段升降溫程序

輸出頻率∶13.56 MHz ±0.005%

射頻頂值功率∶ 500W

匹配∶ 自動匹配

噪音∶<50 dB.

冷卻∶空氣冷卻

輸入電源∶208-240VAC， 單相， 50/60Hz

采用vRD-16的雙旋真空泵， 極限真空10E-3 Torr

KFD25快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連

管內(nèi)真空可達10E-2 Torr

四個精密的質(zhì)量流量計（精度1.5%）∶ 數(shù)字顯示，自動控制.

MFC1范圍∶ 0~100 sccm

MFC2和3∶ 0~200 sccm

MFC4范圍∶ 0~500 sccm

一個混氣罐，底部裝有泄廢液口.

4個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動控制4種氣體.

進氣口∶4個1/4NPS.

出氣口∶4個 1/4NPps.

采用PLc控制流量計，通過觸摸屏進行控制

可選購氣液混合裝置，用于cvD系統(tǒng)

高純石英管，尺寸50毫米 O.D x  44毫米 I.D  x  1800 毫米 L

配有一套不銹鋼密封法蘭，并且上面安裝有真空計

輸入電源 24v，1A DC（配有一電壓轉(zhuǎn)換器）

測量范圍 3.8x10-5 --1125 Torr.

數(shù)據(jù)顯示 數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr

接頭 KF16 接頭

產(chǎn)品尺寸46mm×28mm×126mm（長x寬x高）

手套箱尺寸∶ 780mm（長）x700mm（寬）×650mm（高）

帶有除水系統(tǒng)∶保持水含量<2 ppm

-真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統(tǒng)的石英管相連接

CE認證

所有電器元件（輸入電源<24V）都通過連UL/MET/CSA認證