分析從最小的 MEMS 傳感器到超大 XXL 晶圓，或甚至整塊平板顯微器，其間不會對樣品造成破壞。借助 300 mm 的橫向移動距離和 254 mm 的垂直深度，您可以在 Axio Imager Vario 下檢測大量樣品。一體化機柱設(shè)計確保了穩(wěn)定性。在超凈室內(nèi)檢測晶圓的應(yīng)用中 – Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標準認證，并滿足潔超凈室等級 5 的要求。利用驅(qū)動 Z 軸的電動馬達與自動聚焦硬件確保自動調(diào)整至更佳聚焦位置。