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D07-7B CS200A系列七星華創(chuàng)質量流量計

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CS200A系列七星華創(chuàng)質量流量計
流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。
將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進
行比較, 再將差值信號放大后去控制調節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通道的流量,使之與設定的流

詳細信息 在線詢價

CS200A系列七星華創(chuàng)質量流量計

流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。

將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進

行比較, 再將差值信號放大后去控制調節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通道的流量,使之與設定的流

CS200A系列七星華創(chuàng)質量流量計

型號

D07-26C

D07-7B

D07-19B

D07-9E

D07-60B

CS200A

CS200D

類型

普通型

普通經濟型

精度型

大流量型

高精度型,數(shù)字型

高精度型 ,全金屬密封型,


產品精度

±1.5F.S.

±1.5F.S.

±1F.S.(20slm

30slm ±2F.S.)

±2F.S.

±2F.S.

±0.35F.S.(35% F.S.)

±1.0% S.P.(35% F.S.)

±0.35F.S.(35% F.S.)

 ±1.0% S.P.(35% F.S.)

線性

±1F.S.

±1F.S.

±0.5% F.S.

±1F.S.

±1F.S.

±0.5% F.S.

±0.5% F.S.

重復精度

±0.2% FS

±0.2% FS

±0.2% FS

±0.2% FS

±0.2% FS

±0.2% FS

±0.2% FS

量程范圍

20sccm-10slm

5sccm,- 10slm

5sccm-30slm

20slm,--,250slm

300slm-2000slm

5sccm,---- 50slm

2sccm,---30slm

工作壓力范圍

(0.10.5) MPa

(0.10.5) MPa

(0.10.3) MPa,

(0.10.5) MPa

(0.050.30) MPa20slm F.S.30slm

(0.150.30) MPa200slm F.S.250slm

(0.250.5) MPa F.S.1000slm

(0.050.35) MPa F.S.10slm,

,(0.20.45) MPa30slmF.S.

(0.050.35) MPa F.S.10slm

,(0.10.35)MPa10slmF.S.30slm



該氣體配比器可以外接兩種或多種氣體,采用質子型流量計,氣路管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強.氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏

氣體配比器 主要用于氣體流量測試,并按比例混合氣體,為真空管式爐或手套箱營造特定要求的氣氛環(huán)境控制方式采用集成化模塊控制 功能延伸性強 根據(jù)客戶要求隨意添加



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