陰極發(fā)光儀/陰極發(fā)光顯微鏡昊量光電新推出用于微電子、半導(dǎo)體、絕緣材料、地質(zhì)學(xué)和礦物學(xué)材料測(cè)量的法國NewTec陰極射線顯微鏡

陰極發(fā)光儀/陰極發(fā)光顯微鏡

昊量光電新推出用于微電子、半導(dǎo)體、絕緣材料、地質(zhì)學(xué)和礦物學(xué)材料測(cè)量的法國NewTec陰極射線顯微鏡。陰極發(fā)光是一種光譜方法，它可以在局部尺度上識(shí)別缺陷和雜質(zhì)，這些缺陷和雜質(zhì)與被電子槍轟擊的材料的發(fā)光特性有關(guān)。

陰極射線顯微鏡組成：

• 配有相機(jī)的光學(xué)顯微鏡(低亮度)

• 裝有電動(dòng)樣品支架的

• 雙層真空泵及附件

• 帶電纜電子槍

• 電源控制器及控制軟件

陰極射線顯微鏡特點(diǎn)：

• 等離子體穩(wěn)定控制

• 自動(dòng)擊發(fā)
  

• 半定量測(cè)量

• 分光計(jì)定量測(cè)量
  

• 極限空間分辨率<>

• 可選項(xiàng)：加熱and/or冷卻